在潔凈(jing)室內(nei)建造十分完善(shan)的(de)系(xi)統(tong)，可以充分保(bao)證生(sheng)產加工(gong)過程中的(de)潔凈(jing)度(du)。任何設計標準的(de)變(bian)化，必將對潔凈(jing)室的(de)質量產生(sheng)特(te)殊效果。以下這十五個因(yin)素將決(jue)定一個潔凈(jing)室在施工(gong)方面的(de)費(fei)(fei)用。這項花費(fei)(fei)可能在每平方英尺180美(mei)元(yuan)到2,800美(mei)元(yuan)之(zhi)間(要(yao)看是(shi)不是(shi)包括工(gong)具以及裝配(pei)和工(gong)藝設備的(de)費(fei)(fei)用)。
愛斯(si)基摩人(ren)能夠(gou)用很多的詞匯來描繪雪，而(er)(er)我(wo)們的工(gong)業對于潔凈(jing)只有一個單詞和(he)明確的價格來說明它(ta)。我(wo)們常常發現，客戶會支付很高的設計(ji)費(fei)用，為(wei)了(le)一個超出其工(gong)藝要求的潔凈(jing)室而(er)(er)支付無謂(wei)的費(fei)用。
潔凈(jing)室(shi)的(de)(de)設計(ji)和施(shi)工(gong)(gong)通常是在非常緊張的(de)(de)時間限定下完(wan)成的(de)(de)，可(ke)供選(xuan)擇、改變(bian)、和其他可(ke)行(xing)(xing)性(xing)改進(jin)的(de)(de)機會很少。因此，鼓(gu)勵使用“標準(zhun)件復制”(cookie-cutter repeats)來避免新設計(ji)方(fang)法(fa)中的(de)(de)潛在風險(xian)。這些標準(zhun)的(de)(de)潔凈(jing)室(shi)設計(ji)方(fang)案(an)可(ke)能會減輕設計(ji)者的(de)(de)任(ren)務，但不會改進(jin)項目的(de)(de)經濟性(xing)或者降低施(shi)工(gong)(gong)成本。因為每個潔凈(jing)室(shi)所要求的(de)(de)條件在一些細微的(de)(de)方(fang)面(mian)都是不同的(de)(de)，若不是所進(jin)行(xing)(xing)的(de)(de)設計(ji)/施(shi)工(gong)(gong)模(mo)型完(wan)全相同，那么采用標準(zhun)的(de)(de)潔凈(jing)室(shi)設計(ji)方(fang)案(an)是無效的(de)(de)。
除非業(ye)主對于一(yi)個特(te)殊的(de)(de)設計(ji)模(mo)型十分有信(xin)心(xin)，通(tong)常(chang)工(gong)程師都被(bei)要求設計(ji)一(yi)個比(bi)客(ke)戶(hu)預期(qi)更加(jia)嚴格的(de)(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)，這樣即使在某些方面出(chu)(chu)了(le)差錯，他們至(zhi)少仍能夠(gou)達到預期(qi)目的(de)(de)。過多的(de)(de)設計(ji)預算可能會浪費金錢，但是當(dang)實際需求的(de)(de)預算還沒有評估出(chu)(chu)來之前，這樣做是必須的(de)(de)。潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)花(hua)費的(de)(de)增(zeng)加(jia)與設計(ji)和(he)(he)施(shi)工(gong)專家、潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)開發者和(he)(he)業(ye)主三者之間的(de)(de)相(xiang)互信(xin)任成反比(bi)。
項目負責
工(gong)(gong)具動力(li)供應與生(sheng)產(chan)設備(bei)的有效連(lian)接;維修區域、管槽、走廊、暖通、動力(li)專業(ye)設備(bei)間(jian)和動力(li)站的位置等問題的合理安排，這(zhe)些是(shi)潔凈室設計(ji)經濟(ji)性(xing)的主(zhu)要(yao)(yao)方面(mian)。在項目剛(gang)剛(gang)開始時就應該考慮(lv)到這(zhe)些因素，并通過(guo)由建筑師、工(gong)(gong)程(cheng)師、承包(bao)商和業(ye)主(zhu)組成的進行評估。這(zhe)樣才(cai)能確(que)保所有參(can)與者十分了(le)解用戶的生(sheng)產(chan)目標和要(yao)(yao)求，這(zhe)點是(shi)一個(ge)設計(ji)施工(gong)(gong)項目在經濟(ji)性(xing)方面(mian)取(qu)得成功的關鍵。
簡單的(de)(de)說，業主對(dui)(dui)于(yu)所需(xu)潔凈室(shi)的(de)(de)類型(xing)特征進行恰當的(de)(de)選擇，會(hui)對(dui)(dui)最終的(de)(de)花費產(chan)(chan)生至關重要(yao)的(de)(de)影響。這(zhe)(zhe)沒(mei)有“數字(zi)猜謎游(you)戲”式的(de)(de)解決方(fang)案(an)。業主、工程師(shi)、建(jian)筑師(shi)、承包商都必須(xu)了(le)解規(gui)范(fan)或ISO標(biao)(biao)準中那些不必要(yao)的(de)(de)變量/因素對(dui)(dui)于(yu)花費的(de)(de)影響，因此需(xu)要(yao)評估每一個生產(chan)(chan)細節和生產(chan)(chan)要(yao)求。在開始任何的(de)(de)設計(ji)之(zhi)前，這(zhe)(zhe)個團隊必須(xu)要(yao)一起工作以確定目標(biao)(biao)、需(xu)求和期望(wang)。
個案研究
為分析潔凈室施工花費與十(shi)五個(ge)關鍵設計(ji)因素的關系，我們將美國(guo)二十(shi)個(ge)潔凈室設施的數據編輯如(ru)下：
在1983年至2003年間，建立的(de)十個微電子生產工(gong)廠(chang)，潔凈室的(de)潔凈度等(deng)級(ji)是ISO5級(ji)和(he)ISO 6級(ji)
在1983年至1996年間(jian)，建立的(de)四個制(zhi)藥(yao)和生物制(zhi)藥(yao)工廠，潔凈室的(de)潔凈度等(deng)級(ji)(ji)是ISO 5級(ji)(ji)和ISO 7級(ji)(ji)。
在(zai)1994年(nian)(nian)至2003年(nian)(nian)間(jian)，建立瓣十個微電子生產工廠，潔(jie)凈室的潔(jie)凈度等級(ji)(ji)分(fen)別是ISO3級(ji)(ji)、ISO 5級(ji)(ji)、ISO7級(ji)(ji)和(he)ISO 8級(ji)(ji)。
在1994至2004年前(qian)，建(jian)立的(de)八(ba)個生物制藥(yao)工廠，潔(jie)凈(jing)室的(de)潔(jie)凈(jing)度等級(ji)分別是(shi)ISO4級(ji)、ISO5級(ji)、ISO7級(ji)和ISO8級(ji)。
通過對暖通、動力(li)專業(ye)(ye)(HVAC，工(gong)藝管道(dao))工(gong)程費用(yong)數據的推斷(duan)，綜合(he)考慮地點、勞(lao)務費用(yong)和通貨膨脹(zhang)等(deng)因素，進行(xing)調整，從而得到一個統一的關于潔(jie)凈(jing)室暖通、動力(li)專業(ye)(ye)工(gong)程費用(yong)分類的簡(jian)單描述，該分類包括ISO3級(ji)、ISO5級(ji)、ISO7級(ji)和ISO8級(ji)每(mei)一類的潔(jie)凈(jing)室。
本(ben)次(ci)分(fen)析(xi)所選(xuan)擇的(de)潔(jie)凈(jing)室，設(she)施面積相差不(bu)(bu)多，都在40,000到(dao)60，000平方英尺之間，并且都有30%到(dao)40%的(de)生產窨(yin)被不(bu)(bu)同(tong)等級的(de)潔(jie)凈(jing)室、潔(jie)凈(jing)室走(zou)廊和(he)氣閘占用(yong)(yong)。使用(yong)(yong)相同(tong)的(de)方法計算(suan)暖通、動(dong)力專(zhuan)業設(she)備的(de)生產費(fei)(fei)用(yong)(yong)，從而得到(dao)花費(fei)(fei)的(de)詳細統計如(ru)表(biao)2所示。這種方法統一(yi)了暖通、動(dong)力專(zhuan)業工程費(fei)(fei)用(yong)(yong)，而沒(mei)有區分(fen)微電子潔(jie)凈(jing)室、制藥(yao)和(he)生物制藥(yao)潔(jie)凈(jing)室(計算(suan)數(shu)據如(ru)表(biao)3、表(biao)4、表(biao)5、表(biao)6和(he)表(biao)7所示)。
基(ji)于(yu)以(yi)(yi)上這(zhe)些表格，以(yi)(yi)ISO 5級潔凈室暖、動力專業工(gong)程花費為基(ji)線繪制了(le)“關鍵(jian)價值(zhi)因素”圖表(圖1);從而得到花費因素價值(zhi)數據，如表8所(suo)示。這(zhe)些經驗變(bian)量可以(yi)(yi)用百分數的(de)形式乘(cheng)以(yi)(yi)每(mei)平方英尺的(de)工(gong)程費用來計(ji)算不同類型潔凈室的(de)花費，也能(neng)在項目初期幫助進(jin)行工(gong)程費用評估。
成功(gong)的十五個方法(fa)
利用(yong)以下十(shi)五個成本因素變(bian)量(liang)，提供可供選擇的(de)設(she)計方(fang)案動態數據庫，對基本的(de)潔凈室設(she)計和(he)標準進行改(gai)進，盡量(liang)滿足工廠的(de)需(xu)求，通(tong)過這(zhe)些(xie)方(fang)法我(wo)們應(ying)能(neng)夠減少項目(mu)的(de)工程(cheng)費用(yong)。ATI的(de)建筑師和(he)工程(cheng)師(Danville,Calif.;www.Atlae.com)應(ying)用(yong)這(zhe)些(xie)方(fang)法成功地為(wei)生物制藥學、微電子學和(he)食品加工行業(ye)的(de)潔凈室進行設(she)計，并實施了施工工程(cheng)。
1. 換氣次數。花費(fei)因素(su)變量：-0。08至0。19
潔凈(jing)室內的(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)分(fen)配設備(通常是(shi)吊(diao)頂過(guo)濾器)被(bei)設計(ji)成“噴淋式”，用來(lai)提(ti)供(gong)統一(yi)的(de)(de)(de)(de)、潔凈(jing)的(de)(de)(de)(de)已過(guo)濾的(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)。向(xiang)房間補給的(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)量，讓人想(xiang)起(qi)與普通的(de)(de)(de)(de)淋浴(yu)噴頭相反的(de)(de)(de)(de)消防龍(long)頭。美國聯邦(bang)標準(zhun)209E、日本標準(zhun)JIS B9920和ISO 標準(zhun)14644-1的(de)(de)(de)(de)標題是(shi)：潔凈(jing)室外(wai)和相關(guan)控制環境——第(di)一(yi)部分(fen)：清潔空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)分(fen)級。這些標準(zhun)提(ti)供(gong)了潔凈(jing)室參數(shu)、分(fen)級和檢(jian)測方(fang)法的(de)(de)(de)(de)指導方(fang)針，但并未說明如何經濟(ji)有效地達到(dao)要求。這是(shi)因(yin)為每種生(sheng)產過(guo)程和潔凈(jing)室外(wai)的(de)(de)(de)(de)要求是(shi)不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)，因(yin)此，可以采用不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)再循環空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)量，達到(dao)預期的(de)(de)(de)(de)環境要求。
至少有(you)五種不同的(de)(de)(de)“可能(neng)”設(she)計能(neng)夠(gou)達到預期的(de)(de)(de)結(jie)果，然而(er)只有(you)一種設(she)計是(shi)最(zui)(zui)佳方案。為項目尋(xun)找(zhao)最(zui)(zui)佳和最(zui)(zui)經濟的(de)(de)(de)解決方案，是(shi)潔凈室外(wai)換氣項目的(de)(de)(de)最(zui)(zui)基本的(de)(de)(de)目標(biao)理念。
如表(biao)1所示，換氣(qi)次數和再循環數量變化對于確定房間(jian)的級(ji)別(bie)是十分重要的。例如，通(tong)過300次的換氣(qi)次數能夠達(da)到M2級(ji)潔凈室的要求，但也可(ke)能540次的換氣(qi)次數仍不(bu)能滿足要求。
房間(jian)內污染物的(de)(de)(de)比率和(he)實(shi)際微(wei)粒(li)產生情況，是影響潔凈室空(kong)氣(qi)換氣(qi)次數的(de)(de)(de)主要(yao)因素(su)。在生產過程中(zhong)，不對其(qi)他(ta)因素(su)產生任何影響的(de)(de)(de)情況下(xia)，清(qing)除(chu)微(wei)粒(li)的(de)(de)(de)速度是非常重(zhong)要(yao)的(de)(de)(de)。其(qi)他(ta)可能影響再循環空(kong)氣(qi)數量的(de)(de)(de)因素(su)是：房間(jian)的(de)(de)(de)結構、設備的(de)(de)(de)位置、設備表面溫度、空(kong)氣(qi)對流、氣(qi)流類(lei)型(單向(xiang)通(tong)過敏感(gan)區或者通(tong)過全空(kong)間(jian))、操(cao)作空(kong)間(jian)和(he)規(gui)章、使(shi)用的(de)(de)(de)材料和(he)化學藥(yao)品等(deng)。
潔凈(jing)(jing)(jing)室可(ke)能需要(yao)在靜態下(xia)(xia)進(jin)(jin)行(xing)鑒(jian)定，在工(gong)況下(xia)(xia)進(jin)(jin)行(xing)鑒(jian)定，對生產(chan)過程進(jin)(jin)行(xing)確認或者(zhe)cGMP認證。由綜合服務管理部(bu)制定的(de)聯邦標準209(e)，建議(yi)100或90fpm。然而(er)有可(ke)能建立一個空氣流動(dong)速度(du)較低，但(dan)比100級潔凈(jing)(jing)(jing)度(du)更高的(de)潔凈(jing)(jing)(jing)室。實際上，已經有潔凈(jing)(jing)(jing)室的(de)空氣流動(dong)速度(du)是45cfm/平方英尺。
2. 單向的、紊流的、垂直(zhi)或水平氣(qi)流。
花費因素變(bian)量(liang)：-0.073至0.18
在許多案例中(zhong)，單(dan)向(xiang)氣流只在小(xiao)空(kong)間和(he)潔(jie)凈(jing)室的敏感(gan)區域(yu)內使用(yong)，并且使用(yong)微環境(jing)。污染物的源頭可能(neng)存(cun)在于(yu)手(shou)套(tao)箱(xiang)、過濾(lv)模(mo)塊(kuai)等地方。多數設計為(wei)整體單(dan)向(xiang)氣流潔(jie)凈(jing)室外的方案，只有在這(zhe)些區域(yu)中(zhong)沒有作業者、生產(chan)設備和(he)排風(feng)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)時才能(neng)實(shi)現單(dan)向(xiang)氣流。垂直或(huo)水(shui)平氣流的選擇，取(qu)決于(yu)房間的結(jie)構和(he)設備的安放(fang)位置(zhi)(zhi)，紊流就可以(yi)將污染物帶走。
潔(jie)凈室內(nei)的(de)架(jia)空地板(ban)(ban)是用來掩蓋工具、設(she)備與動力設(she)備之間的(de)電線、通訊電纜、水電、管道的(de)連接的(de)。后來，為了節約成本，在“bay-and-chase”式(shi)的(de)潔(jie)凈室結構中，這些(xie)(xie)架(jia)空地板(ban)(ban)被當作(zuo)從港灣到夾層的(de)回(hui)內(nei)通道。在完全單向氣流的(de)潔(jie)凈室內(nei)，人們希望微粒從工作(zuo)區域流到帶小孔(kong)的(de)地板(ban)(ban)下(xia)。我們已(yi)經成功的(de)建(jian)立了10級(ji)和100級(ji)的(de)潔(jie)凈室，在這些(xie)(xie)潔(jie)凈室內(nei)沒有架(jia)空地板(ban)(ban)，采用墻下(xia)部回(hui)風系統，而且潔(jie)凈室的(de)氣流被設(she)計成紊流。
另個一種(zhong)辦(ban)法是用薄的空氣噴射(she)裝置(zhi)隔離超清潔區域，這(zhe)種(zhong)空氣噴射(she)的速度是每分鐘500到800英尺。它的功能類似(si)于塑料門簾。
3. 空氣過濾。花(hua)費因素變量：-0.032至0.10
采用(yong)未端(duan)HEPA過(guo)濾器對空氣(qi)進行(xing)過(guo)濾，0.3到(dao)0.5微米的去除(chu)效(xiao)率(lv)為(wei)99.99%,0.12微米的去除(chu)效(xiao)率(lv)為(wei)99.999%;若(ruo)使用(yong)ULPA過(guo)濾器，0.12微米的去除(chu)效(xiao)率(lv)為(wei)99.99995%。
根據潔(jie)凈室外的用(yong)途，也可(ke)以選擇(ze)其他的設備，例如，在循環風加新風處理系統中，使用(yong)HEPA過濾(lv)器(qi)用(yong)碳吸附或相似功能(neng)的合(he)成(cheng)過濾(lv)器(qi)處理VOC，靜電過濾(lv)箱，等(deng)等(deng)。
在潔凈(jing)(jing)室(shi)(shi)市場上，風(feng)機過(guo)(guo)濾不再(zai)是(shi)新產品，正確的(de)(de)應用(yong)它可以為許(xu)多高(gao)(gao)水(shui)平潔凈(jing)(jing)室(shi)(shi)提(ti)供卓越(yue)的(de)(de)、經濟的(de)(de)解決方(fang)(fang)案，尤其是(shi)在吊頂(ding)高(gao)(gao)度(du)有限的(de)(de)建(jian)筑(zhu)內(nei)。已證(zheng)明降(jiang)低成(cheng)本和(he)減小過(guo)(guo)濾器的(de)(de)壓降(jiang)(在潔凈(jing)(jing)室(shi)(shi)壽(shou)命期(qi)內(nei)，使用(yong)低等級過(guo)(guo)濾器，長時(shi)間采用(yong)高(gao)(gao)壓降(jiang)方(fang)(fang)式運(yun)轉，所帶來(lai)的(de)(de)效益并不總是(shi)十分明顯(xian))。
4. 空氣處理器。花費因(yin)素變(bian)量：-0.07至0.15
新(xin)風(feng)處理(li)空調箱[Make-up AHU s]。典(dian)型(xing)的(de)新(xin)風(feng)處理(li)空調箱(初級AHU s)為循環風(feng)空調箱(二(er)級AHU s)提供必(bi)需的(de)新(xin)風(feng)。新(xin)風(feng)由離心(xin)排風(feng)機(ji)、軸流或plug風(feng)機(ji)加(jia)上過濾器(qi)(qi)、預熱(re)和再熱(re)用熱(re)水盤(pan)管(guan)、冷(leng)卻和除濕使用的(de)冷(leng)凍水盤(pan)管(guan)、蒸汽(qi)和絕熱(re)加(jia)濕器(qi)(qi)等組成。附件(jian)和差異包括(kuo)靜電空氣混合器(qi)(qi)、蒸汽(qi)預熱(re)盤(pan)管(guan)、超聲波(bo)加(jia)濕器(qi)(qi)、鹽水、除濕用的(de)直(zhi)接交換[Dx]或乙二(er)醇低(di)溫(wen)冷(leng)凍盤(pan)管(guan)、VOC吸附過濾器(qi)(qi)、噪聲衰減器(qi)(qi)，VFP(變(bian)頻)驅動等。
最近(jin)12年(nian)，M&I傳熱產品公司(位于米西所加，網址：www.miair.com)成功地研制和生產了(le)非常(chang)(chang)經濟、可(ke)靠的(de)風(feng)機(ji)系統。這些(xie)系統工作起來非常(chang)(chang)安靜，并(bing)且消耗的(de)能源(yuan)很低，通常(chang)(chang)比(bi)離(li)心(xin)式或plug風(feng)機(ji)系統能耗少20%。
新(xin)風(feng)處(chu)理空(kong)調(diao)箱通道是將空(kong)氣(qi)注入集管，再(zai)通過(guo)支管系統(tong)給循(xun)環(huan)風(feng)空(kong)調(diao)箱提(ti)供新(xin)風(feng)。在(zai)初(chu)級(ji)和(he)二級(ji)風(feng)管上進行空(kong)氣(qi)測量(liang)，并調(diao)節送風(feng)機、VFD或進口風(feng)閥以便恒(heng)定(ding)風(feng)量(liang)。Magnahelic講(jiang)量(liang)器臨(lin)測安裝在(zai)各個空(kong)調(diao)箱內(nei)HEPA過(guo)濾器布(bu)袋過(guo)濾器和(he)預過(guo)濾器的荷載。有吊頂風(feng)機過(guo)濾器的情況下(xia)，新(xin)風(feng)處(chu)理空(kong)調(diao)箱出來的空(kong)氣(qi)進入循(xun)環(huan)風(feng)空(kong)調(diao)箱再(zai)送出。
循環風(feng)(feng)空(kong)調(diao)箱(xiang)(Recirculation AHU s)。典型的(de)(de)(de)循環風(feng)(feng)空(kong)調(diao)箱(xiang)由高(gao)效離心式風(feng)(feng)機、過(guo)濾器和(he)濕(shi)熱(干)冷(leng)盤管組成(cheng)。附加和(he)差異包括用(yong)(yong)(yong)于(yu)局(ju)部溫度控制(zhi)的(de)(de)(de)再熱盤管、用(yong)(yong)(yong)于(yu)局(ju)部濕(shi)度控制(zhi)的(de)(de)(de)蒸汽或超聲波加濕(shi)器、風(feng)(feng)量恒定控制(zhi)箱(xiang)。這種采(cai)用(yong)(yong)(yong)Whisper-Air and Compac Space 風(feng)(feng)機系統的(de)(de)(de)方(fang)式提供(gong)了一種節(jie)約成(cheng)本和(he)充分使(shi)用(yong)(yong)(yong)能(neng)源的(de)(de)(de)選擇。
多(duo)重循(xun)(xun)(xun)環(huan)風(feng)(feng)空(kong)(kong)調箱(xiang)(xiang)通過(guo)(guo)(guo)(guo)送風(feng)(feng)管，再(zai)經(jing)過(guo)(guo)(guo)(guo)ULPA過(guo)(guo)(guo)(guo)濾器(qi)或(huo)HEPA過(guo)(guo)(guo)(guo)濾器(qi)，將空(kong)(kong)氣(qi)(qi)送入潔(jie)凈室，在(zai)潔(jie)凈度等級為10級和1級的(de)(de)潔(jie)凈間(jian)的(de)(de)吊頂上，這些(xie)過(guo)(guo)(guo)(guo)濾器(qi)通常是100%覆蓋。垂(chui)直單向氣(qi)(qi)流向下(xia)通過(guo)(guo)(guo)(guo)潔(jie)凈間(jian)，穿過(guo)(guo)(guo)(guo)帶孔的(de)(de)架空(kong)(kong)地板(ban)磚(zhuan)進(jin)入地板(ban)下(xia)面(mian)的(de)(de)回風(feng)(feng)空(kong)(kong)間(jian)，再(zai)通過(guo)(guo)(guo)(guo)垂(chui)直回風(feng)(feng)夾(jia)道向上進(jin)入吊頂回風(feng)(feng)靜(jing)壓箱(xiang)(xiang)。然(ran)后 ，空(kong)(kong)氣(qi)(qi)再(zai)次進(jin)入循(xun)(xun)(xun)環(huan)風(feng)(feng)空(kong)(kong)調箱(xiang)(xiang)，以上的(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)循(xun)(xun)(xun)環(huan)再(zai)次重復。如果是使用吊頂風(feng)(feng)機(ji)(ji)過(guo)(guo)(guo)(guo)濾器(qi)，在(zai)風(feng)(feng)機(ji)(ji)過(guo)(guo)(guo)(guo)濾器(qi)上面(mian)的(de)(de)吊頂空(kong)(kong)間(jian)時，可以安裝水(shui)或(huo)直接交換冷卻[DX-cooled]風(feng)(feng)機(ji)(ji)盤(pan)管實現表(biao)面(mian)冷卻。
5. 空氣壓差(cha)。花費(fei)因(yin)素變量：-0.041至0.08
潔凈室增壓是(shi)必須的(de)(de)(de)，它的(de)(de)(de)作用是(shi)確(que)保(bao)潔凈室遠(yuan)離其(qi)臨(lin)近區域的(de)(de)(de)污染，控(kong)制有害污染物(wu)的(de)(de)(de)流向，防(fang)止不同區域間的(de)(de)(de)交叉污染，并(bing)幫助保(bao)持所要(yao)求的(de)(de)(de)溫度(du)和濕度(du)水平。
潔(jie)(jie)凈室與相關走廊、設(she)施內的(de)(de)其(qi)他區域(yu)(yu)的(de)(de)壓(ya)(ya)差應維(wei)持(chi)(chi)在(zai)(zai)(zai)(zai)0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之(zhi)(zhi)間。一般(ban)制藥(yao)企業所要求(qiu)的(de)(de)壓(ya)(ya)差值比這(zhe)更高，在(zai)(zai)(zai)(zai)不(bu)同(tong)區域(yu)(yu)之(zhi)(zhi)間采(cai)用(yong)層(ceng)疊(die)壓(ya)(ya)差來避免交(jiao)叉污染(ran)。在(zai)(zai)(zai)(zai)不(bu)同(tong)的(de)(de)區域(yu)(yu)間安(an)裝(zhuang)一系列的(de)(de)層(ceng)疊(die)式氣(qi)閘和(he)允許空氣(qi)快速擴散的(de)(de)正壓(ya)(ya)門，從而(er)產(chan)生壓(ya)(ya)差。好(hao)的(de)(de)微電子潔(jie)(jie)凈室設(she)計中，通常在(zai)(zai)(zai)(zai)潔(jie)(jie)凈室的(de)(de)入口安(an)裝(zhuang)一個半(ban)密封的(de)(de)氣(qi)閘來使壓(ya)(ya)差保持(chi)(chi)在(zai)(zai)(zai)(zai)0.02到0。005in.w.g.之(zhi)(zhi)間。更衣(yi)間和(he)穿衣(yi)間用(yong)氣(qi)閘分離。入口入的(de)(de)機械風淋相對于它的(de)(de)必(bi)要性而(er)言，更是(shi)設(she)施文(wen)化和(he)潔(jie)(jie)凈室的(de)(de)原則問題。
許(xu)多(duo)微電子和(he)光刻潔(jie)凈室成功地采用(yong)(yong)被動氣壓控制，只有在(zai)大門(men)(men)全部打開(kai)的(de)情(qing)況下，入口處(chu)的(de)風量維持在(zai)每分鐘50到100英尺。一些生物制藥企業要求主動壓差控制，采用(yong)(yong)補充(chong)新風的(de)方式，自(zi)動補足通(tong)過門(men)(men)泄漏的(de)空(kong)氣(當門(men)(men)打開(kai)時)。
壓(ya)(ya)差(cha)臨測器(qi)(qi)(qi)用來(lai)(lai)完成這個任務，例如Henry G.Dietz公(gong)司的(de)產品(長島市，紐(niu)約;www.lowpressure.com)。監視器(qi)(qi)(qi)可能被(bei)安裝(zhuang)在(zai)(zai)潔凈室(shi)外面，而(er)(er)在(zai)(zai)潔凈室(shi)內(nei)有(you)(you)一(yi)個LED的(de)顯示(shi)(shi)(shi)器(qi)(qi)(qi)，該顯示(shi)(shi)(shi)器(qi)(qi)(qi)帶有(you)(you)一(yi)個聲音報警(jing)裝(zhuang)置(zhi)和兩(liang)個指示(shi)(shi)(shi)器(qi)(qi)(qi)，可以表示(shi)(shi)(shi)氣(qi)壓(ya)(ya)的(de)正(zheng)常(chang)與否(fou)。這種設備(bei)在(zai)(zai)生(sheng)物(wu)制藥潔凈室(shi)中有(you)(you)生(sheng)物(wu)限制要求的(de)區(qu)域內(nei)通(tong)(tong)常(chang)用來(lai)(lai)測負壓(ya)(ya)值，而(er)(er)在(zai)(zai)電子類潔凈室(shi)內(nei)，通(tong)(tong)常(chang)用來(lai)(lai)檢(jian)測負壓(ya)(ya)值，而(er)(er)在(zai)(zai)電子類潔凈室(shi)內(nei)，通(tong)(tong)常(chang)用來(lai)(lai)檢(jian)測正(zheng)壓(ya)(ya)值。它帶有(you)(you)數字壓(ya)(ya)差(cha)顯示(shi)(shi)(shi)器(qi)(qi)(qi)，顯示(shi)(shi)(shi)的(de)精確度是0.001 in.w.c.,測量壓(ya)(ya)力值或真空度的(de)范圍(wei)是0.5 in.w.c。壓(ya)(ya)差(cha)通(tong)(tong)過閃(shan)亮LED和自動報警(jing)裝(zhuang)置(zhi)來(lai)(lai)表示(shi)(shi)(shi)。當打開(kai)大門(men)時(shi)，設備(bei)內(nei)部有(you)(you)一(yi)個可調整的(de)延遲(chi)報警(jing)時(shi)間，用來(lai)(lai)避(bi)免啟(qi)動聲音報警(jing)裝(zhuang)置(zhi)。
6. 溫度控制。花費(fei)因素變(bian)量：-0.0321至 0.15
溫度和濕度的(de)(de)變化(hua)能夠(gou)引起(qi)生產(chan)(chan)設(she)備的(de)(de)誤(wu)差，從而影響生產(chan)(chan)過程的(de)(de)可重(zhong)復性，最終導致產(chan)(chan)品合格(ge)(ge)率降低、增加浪費(fei)。因此(ci)，潔(jie)凈(jing)室對溫度嚴格(ge)(ge)控制(zhi)要(yao)求是顯而易見的(de)(de)，這項花費(fei)是必須的(de)(de)。
通常(chang)情(qing)況下，要求工程師在(zai)(zai)設計時(shi)(shi)降低施工費用，同(tong)時(shi)(shi)要求在(zai)(zai)很大(da)區(qu)域內(nei)對溫度(du)進行精確(que)的(de)控制，允許的(de)溫度(du)變化(hua)范圍(wei)在(zai)(zai)±4到6華(hua)氏度(du)之間(jian)(例如使(shi)用卷簾門的(de)倉庫)。在(zai)(zai)沒有硬(ying)墻和氣(qi)閘裝置時(shi)(shi)，這(zhe)將是十(shi)分苛(ke)刻的(de)要求，并且實際(ji)上無法(fa)控制濕度(du)的(de)變化(hua)。人(ren)們通常(chang)認為潔(jie)凈(jing)室外的(de)潔(jie)凈(jing)度(du)、溫度(du)、濕度(du)和氣(qi)壓等(deng)項(xiang)目的(de)層疊(die)性(xing)是非(fei)常(chang)容易(yi)達到的(de)，并且很容易(yi)維持，但需要仔細的(de)評估這(zhe)些項(xiang)目的(de)誤差范圍(wei)。
如(ru)果對潔(jie)凈室內(nei)的(de)(de)暖通、動(dong)力專業裝置(zhi)和控制(zhi)系統有嚴(yan)格要(yao)求，例如(ru)潔(jie)凈室的(de)(de)溫度(du)控制(zhi)要(yao)求為正負(fu)0.1華氏度(du)所(suo)用花(hua)費，可能比基準(zhun)點為70華氏度(du)，±2.0度(du)(即標準(zhun)要(yao)求68到(dao)72華氏度(du))的(de)(de)高出20%到(dao)50%。
在每(mei)個潔凈室區域內(nei)(nei)，有局(ju)部(bu)自動(dong)調(diao)溫(wen)(wen)器(qi)來控制(zhi)設(she)計溫(wen)(wen)度。它能驅動(dong)安裝在風(feng)管上的局(ju)部(bu)再熱或再冷(leng)盤管工作，來滿足(zu)房間(jian)內(nei)(nei)的濕熱的要(yao)求。如果使(shi)用風(feng)機盤管裝置，局(ju)部(bu)自動(dong)調(diao)溫(wen)(wen)器(qi)控制(zhi)本區域內(nei)(nei)盤管出口空氣的溫(wen)(wen)度。
7. 溫度控制。花費因素(su)變量：-0.034至0.19
每(mei)個(ge)潔凈室內(nei)的(de)(de)相對(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)，通(tong)(tong)過局部(bu)濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)調(diao)節(jie)器(qi)來(lai)進行(xing)控制(zhi)。如果窨(yin)內(nei)的(de)(de)相對(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)較高，恒濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)器(qi)通(tong)(tong)過降低冷凍盤(pan)管(guan)流(liu)出(chu)空氣的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)來(lai)加(jia)強除(chu)濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)。同時，再(zai)熱(re)(re)盤(pan)管(guan)提供熱(re)(re)量來(lai)保持窨(yin)的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)。任(ren)何(he)一個(ge)潔凈間的(de)(de)相對(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)超出(chu)了設(she)計范圍，局部(bu)恒濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)器(qi)將啟(qi)動(dong)安裝在風管(guan)上的(de)(de)局部(bu)濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)調(diao)節(jie)器(qi)。當(dang)必須滿足精(jing)確的(de)(de)濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)控制(zhi)時，通(tong)(tong)常(chang)利(li)用空調(diao)箱中的(de)(de)新風的(de)(de)絕熱(re)(re)增濕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)效果來(lai)實現，并通(tong)(tong)過潔凈室的(de)(de)結^***來(lai)維(wei)持。
濕(shi)(shi)度(du)(du)水平的(de)(de)局部變(bian)動(dong)可以通過(guo)超聲(sheng)波濕(shi)(shi)度(du)(du)調節器進行控(kong)制(zhi)(zhi)，該調節器位于(yu)最終過(guo)濾(lv)前(qian)的(de)(de)風(feng)管靜壓箱內。用(yong)水水質為RO/DI，水電陰率(lv)在3到5mgm之間。如果(guo)相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)低于(yu)設計范圍，恒濕(shi)(shi)器將(jiang)啟動(dong)濕(shi)(shi)度(du)(du)調節器來增加新風(feng)的(de)(de)水分含量。如果(guo)相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)較高，恒濕(shi)(shi)器將(jiang)降(jiang)低新風(feng)控(kong)制(zhi)(zhi)冷凍盤管流出空氣的(de)(de)^***溫度(du)(du)，從而加強除濕(shi)(shi)效果(guo)。
8. 排(pai)風系統。花費(fei)因素變量：-0.031至(zhi)0.16
典(dian)型(xing)的(de)(de)(de)工藝排風(feng)系(xi)統(tong)包括：酸、溶(rong)劑和VOC、毒性物質、熱和一般的(de)(de)(de)房間排風(feng)。如果廢氣(qi)(qi)中有(you)氨(an)氣(qi)(qi)出現，一些(xie)廠(chang)家(jia)會選(xuan)(xuan)擇使用(yong)分(fen)開的(de)(de)(de)風(feng)管系(xi)統(tong)和處理(li)系(xi)統(tong)。使用(yong)最多、最普(pu)遍的(de)(de)(de)酸消除(chu)方法，是水平或垂直氣(qi)(qi)體洗滌(di)塔(ta)。溶(rong)劑和VOC的(de)(de)(de)去除(chu)通常運用(yong)就地或當場(chang)高溫破壞的(de)(de)(de)方法。需(xu)要認真選(xuan)(xuan)擇支(zhi)隊的(de)(de)(de)方式(shi)及(ji)必須支(zhi)隊的(de)(de)(de)廢氣(qi)(qi)流量。
優質的(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)氣處理(li)設(she)備能(neng)夠將(jiang)廢氣量(liang)降(jiang)至最低，因(yin)此，在(zai)實施過(guo)程(cheng)中可(ke)降(jiang)低工程(cheng)費(fei)用和能(neng)源浪費(fei)。保持排風量(liang)增(zeng)(zeng)加的(de)(de)(de)(de)(de)潛在(zai)需求(qiu)、擴(kuo)大生產和安裝這些備用品所需的(de)(de)(de)(de)(de)經(jing)濟價值之間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)平衡(heng)是十分(fen)重要的(de)(de)(de)(de)(de)。通(tong)(tong)常情況下(xia)，考慮到潔凈室(shi)將(jiang)來(lai)的(de)(de)(de)(de)(de)擴(kuo)展，當其它(ta)動力設(she)備和暖通(tong)(tong)、動力專業系(xi)統(tong)(tong)(例如新(xin)(xin)風和冷卻)不能(neng)滿(man)足這種擴(kuo)充的(de)(de)(de)(de)(de)需求(qiu)時，超(chao)大的(de)(de)(de)(de)(de)昂貴的(de)(de)(de)(de)(de)、不銹鋼襯里的(de)(de)(de)(de)(de)或FRP排風系(xi)統(tong)(tong)就(jiu)已經(jing)建立了。沒有(you)考慮將(jiang)來(lai)的(de)(de)(de)(de)(de)需求(qiu)而建立的(de)(de)(de)(de)(de)酸(suan)排隊系(xi)統(tong)(tong)也是十分(fen)普遍的(de)(de)(de)(de)(de)。增(zeng)(zeng)加風量(liang)和新(xin)(xin)的(de)(de)(de)(de)(de)風管(guan)支管(guan)，，就(jiu)會使風管(guan)系(xi)統(tong)(tong)中的(de)(de)(de)(de)(de)風速超(chao)過(guo)每(mei)分(fen)鐘4000英尺。這樣(yang)的(de)(de)(de)(de)(de)系(xi)統(tong)(tong)保持平衡(heng)是十分(fen)困難的(de)(de)(de)(de)(de)或不可(ke)能(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)，并且運行(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)費(fei)用昂貴。
9. 振動和噪聲控制(zhi)。花(hua)費因素變量：-0.027至0.10
設備的大小和重(zhong)量影響振(zhen)(zhen)動(dong)的傳播及控制。潔凈室(shi)地板(ban)(ban)(ban)下面的“華(hua)夫(waffle)”混凝土板(ban)(ban)(ban)層，能夠很好地避免將(jiang)設備的振(zhen)(zhen)動(dong)傳送到(dao)其他生產區域或度量衡工具上。即使(shi)為(wei)了安裝管(guan)道而在(zai)潔凈室(shi)的地面上鉆洞，Waffle混凝土板(ban)(ban)(ban)層仍能保(bao)持其風性。因為(wei)地板(ban)(ban)(ban)的強度在(zai)于它的柵格系統，并可進行重(zhong)新整理(li)。因此可在(zai)地板(ban)(ban)(ban)上沖壓額外(wai)的孔洞，而不(bu)會對振(zhen)(zhen)動(dong)因素(su)有任何副作用。
所有的(de)(de)(de)(de)暖通、動(dong)力專業(ye)設備應(ying)使用(yong)彈簧、軟件(jian)接和(he)(he)隔離安裝等隔絕振(zhen)動(dong)的(de)(de)(de)(de)方(fang)式，將振(zhen)動(dong)效(xiao)應(ying)降到最低(di)。低(di)噪(zao)音的(de)(de)(de)(de)節能風機(ji)和(he)(he)馬達，可以用(yong)來(lai)維持潔凈室NC水平。振(zhen)動(dong)和(he)(he)噪(zao)聲(sheng)方(fang)面的(de)(de)(de)(de)專家應(ying)是(shi)(shi)評(ping)估小(xiao)組的(de)(de)(de)(de)成(cheng)員，他們來(lai)領袖用(yong)于(yu)振(zhen)動(dong)和(he)(he)噪(zao)聲(sheng)方(fang)面的(de)(de)(de)(de)專家應(ying)是(shi)(shi)評(ping)估小(xiao)組的(de)(de)(de)(de)成(cheng)員，他們來(lai)核實用(yong)于(yu)振(zhen)動(dong)和(he)(he)噪(zao)聲(sheng)控制中的(de)(de)(de)(de)機(ji)械和(he)(he)建筑(zhu)(zhu)學原(yuan)理。完(wan)工(gong)后的(de)(de)(de)(de)再(zai)處理可能是(shi)(shi)十(shi)分昂貴的(de)(de)(de)(de)。如果建筑(zhu)(zhu)師、暖通、動(dong)力專業(ye)工(gong)程(cheng)師、業(ye)主和(he)(he)顧(gu)問從(cong)設計(ji)的(de)(de)(de)(de)開始就考慮這些(xie)因素，可以免去許多潛(qian)在的(de)(de)(de)(de)昂貴的(de)(de)(de)(de)檢測，或(huo)用(yong)更經濟的(de)(de)(de)(de)辦(ban)法(fa)取(qu)代(dai)。
10. 磁通量(liang)和電磁通量(liang)。花費因素變量(liang)：0.037至0.15
磁通量被認為是(shi)銀河系中(zhong)海洋微粒背景的(de)(de)(de)流(liu)量。銀河系的(de)(de)(de)放置也被認為是(shi)自然界的(de)(de)(de)電磁循環。“通量”這個(ge)(ge)詞代(dai)(dai)表(biao)流(liu)量，我(wo)們(men)可(ke)以認為磁力線(xian)就(jiu)象某種液體(ti)流(liu)動(dong)的(de)(de)(de)路線(xian)那樣穿過(guo)一個(ge)(ge)假想的(de)(de)(de)表(biao)面(mian)(mian)。磁場的(de)(de)(de)大小代(dai)(dai)表(biao)流(liu)動(dong)的(de)(de)(de)速度，它的(de)(de)(de)方(fang)向就(jiu)是(shi)流(liu)動(dong)的(de)(de)(de)方(fang)向。磁通量就(jiu)是(shi)流(liu)過(guo)這個(ge)(ge)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)所有(you)的(de)(de)(de)容量。為了更好地理解(jie)，我(wo)們(men)可(ke)以認為磁通量就(jiu)是(shi)穿過(guo)這個(ge)(ge)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)磁力線(xian)的(de)(de)(de)數量。
對于給定(ding)的速(su)度，當(dang)微(wei)粒移(yi)動(dong)的方向(xiang)(xiang)垂直(zhi)于磁(ci)場(chang)方向(xiang)(xiang)時(shi)，磁(ci)力(li)是最大的，當(dang)與磁(ci)場(chang)方向(xiang)(xiang)平等(deng)運動(dong)時(shi)，磁(ci)場(chang)力(li)為零。
在大多數基本水平，移動(dong)電荷(he)之間(jian)的(de)相互作用產(chan)生磁力，就象靜(jing)電產(chan)生于導電電荷(he)與其他(ta)導電電荷(he)(不(bu)論他(ta)們是否運動(dong))之間(jian)的(de)相互作用。
通過對(dui)行星(xing)的(de)(de)拍(pai)照研究表(biao)明，由于地球的(de)(de)放置和它(ta)熔化的(de)(de)金屬(shu)內(nei)核使(shi)得它(ta)有一(yi)個(ge)強大的(de)(de)磁場(chang)(chang)。磁通量的(de)(de)密度(du)(替代“牛頓的(de)(de)每安培米”)有它(ta)自己的(de)(de)單位---特斯(si)拉。地球表(biao)面的(de)(de)磁場(chang)(chang)近(jin)似代表(biao)值是二分(fen)之一(yi)高(gao)斯(si)，大約是200,000特斯(si)拉。在對(dui)公眾(zhong)開(kai)放的(de)(de)區域內(nei)，職業安全和健康(kang)要求磁場(chang)(chang)強度(du)不(bu)能大于5個(ge)高(gao)斯(si)。
潔凈(jing)室(shi)(shi)的(de)(de)磁場防(fang)護是十分昂貴的(de)(de)。例如，潔凈(jing)室(shi)(shi)使用4到5毫米(mi)厚的(de)(de)磁性(鐵--硅)鋼板(M15型)作為屏蔽材料仍(reng)不(bu)能(neng)滿足要求。當(dang)前的(de)(de)半導體、度量衡和(he)通(tong)(tong)訊實(shi)驗室(shi)(shi)區域內(nei)要求磁通(tong)(tong)量的(de)(de)強(qiang)度限制在0.05高斯或更低。
曾經有(you)一(yi)個非常昂貴的潔(jie)凈室在(zai)建成后不(bu)久就關閉了(le)(le)，因(yin)為它所在(zai)的位置有(you)很高(gao)的磁通(tong)量(liang)。另(ling)一(yi)個潔(jie)凈室失敗因(yin)為安的生產(chan)地板下面埋(mai)了(le)(le)幾英尺(chi)的一(yi)條高(gao)容量(liang)的高(gao)壓電(dian)纜(lan)。再(zai)一(yi)次強調，如(ru)果在(zai)項目的開始對(dui)這些因(yin)素(su)進行評估，可能會找到解決措施并且節約時(shi)間和成本。事實上，磁場(chang)屏蔽的成本也是應該考慮的。
11. 空氣和物(wu)體表面的(de)靜電(dian)荷(he)。花(hua)費因素變量：0.0327至0.12
“靜(jing)電”是由(you)于(yu)兩個獨立的(de)表(biao)面相(xiang)互接觸(chu)而(er)產(chan)生(sheng)的(de)。不同表(biao)面產(chan)生(sheng)的(de)電荷，如(ru)果不能以足夠(gou)快的(de)速(su)度傳導到地面，那(nei)么它們會(hui)聚集并(bing)散布在材料的(de)表(biao)面----這就是“靜(jing)電”。
工業范圍很多(duo)區域內(nei)殘余的(de)(de)靜電(dian)荷，會造成危險并(bing)引發問(wen)題。它能引起易燃(ran)氣體的(de)(de)燃(ran)燒和人體觸電(dian)。它能使(shi)薄的(de)(de)薄膜和輕纖維(wei)粘連、吸附(fu)空氣中的(de)(de)塵埃(ai)和碎片、損害半導體設備和干擾微電(dian)子設備的(de)(de)運行(xing)。
關于易燃氣(qi)體(ti)、水蒸汽和粉塵的危險與(yu)(yu)兩方(fang)面(mian)的因素(su)有(you)關，其(qi)一(yi)是與(yu)(yu)電容儲存(cun)能(neng)量相關，涉(she)及到最小(xiao)起爆能(neng);另一(yi)方(fang)面(mian)是與(yu)(yu)最小(xiao)間(jian)距的破壞電壓相關，這可以引(yin)發著火(huo)。
典型的，一般碳氫化合(he)物(wu)氣體或空氣混合(he)物(wu)的最小起爆能是0.2 毫(hao)焦耳，并產(chan)生至(zhi)少(shao)幾千(qian)伏的擊穿電壓(ya)。對于粉塵，最小起爆能是幾毫(hao)焦耳。
靜(jing)電(dian)荷(he)放電(dian)引起的震(zhen)動大(da)約在1毫(hao)(hao)焦(jiao)耳(er)時(shi)是可以辨別的，當(dang)震(zhen)動在10到100毫(hao)(hao)焦(jiao)耳(er)范(fan)圍(wei)內時(shi)很可能(neng)使人感覺(jue)不舒服。1焦(jiao)耳(er)以上的能(neng)量將(jiang)引起人體(ti)主要肌肉的收縮。當(dang)靜(jing)電(dian)作用力(li)與(yu)重力(li)或其(qi)他約束力(li)相當(dang)時(shi)，將(jiang)產生機械(xie)操作難題。這與(yu)局部電(dian)場的引力(li)有關(guan)，因(yin)此，絕緣體(ti)與(yu)表面電(dian)荷(he)密(mi)度有關(guan)。
一(yi)般情(qing)況下，靜(jing)電作用力(li)是微弱的(de)，但是當電荷密(mi)度小(xiao)于幾(ji)毫焦耳10-7/㎡時(shi)，灰塵就將被吸(xi)附在(zai)它的(de)表面(mian)。人們(men)進(jin)行正(zheng)常的(de)活動時(shi)會產生靜(jing)電，例如(ru)在(zai)地(di)毯上行走、從椅(yi)子上站起、磨擦衣服(fu)的(de)表面(mian)等(deng)。在(zai)濕度較低的(de)環(huan)境和(he)廣泛(fan)使(shi)用人造纖維的(de)環(huan)境，產生靜(jing)電荷更高。身(shen)體電壓(ya)可(ke)高達到15千伏。
通過帶電(dian)(dian)織物、帶電(dian)(dian)體、手(shou)持金(jin)屬物體等(deng)可(ke)進行靜(jing)電(dian)(dian)放電(dian)(dian)。這些(xie)靜(jing)電(dian)(dian)放電(dian)(dian)可(ke)能產(chan)生高電(dian)(dian)壓，能夠越(yue)過設備(bei)外包裝(zhuang)內(nei)的(de)幾毫米(mi)空隙直接進入內(nei)部電(dian)(dian)路。放電(dian)(dian)可(ke)產(chan)生幾安培的(de)電(dian)(dian)流，使頻率上(shang)升到幾百(bai)兆赫(he)---特別是金(jin)屬導體充當放電(dian)(dian)源時。
靜電對(dui)于(yu)半導體設備(bei)的(de)危害(hai)取決于(yu)設備(bei)的(de)類型和設計方(fang)案。互補金屬(shu)氧化物半導體(CMOS)設備(bei)和精細幾(ji)何結構特(te)別容(rong)易受(shou)影響。盡(jin)管損害(hai)很(hen)可能(neng)(neng)與放(fang)電能(neng)(neng)量和電壓有(you)關(guan)，但風(feng)險的(de)表示方(fang)式與“人(ren)體模(mo)型”放(fang)電電壓有(you)關(guan)。經驗表明大約在(zai)(zai)50伏特(te)時，損害(hai)的(de)靈敏度降低。微電子系統混亂(luan)所(suo)產生(sheng)的(de)問題(ti)通常(chang)(chang)也被(bei)表示成與人(ren)體模(mo)型放(fang)電有(you)關(guan)。系統必須能(neng)(neng)經受(shou)幾(ji)千伏特(te)的(de)電壓(不(bu)受(shou)控(kong)制(zhi)的(de)環境應在(zai)(zai)15千伏特(te)以(yi)上)，因為在(zai)(zai)正常(chang)(chang)工(gong)作環境中，人(ren)們在(zai)(zai)地(di)板上走動等活動能(neng)(neng)很(hen)輕易的(de)產生(sheng)高電壓。
為了(le)減少(shao)風險(xian)(xian)，避免潛在的(de)(de)問(wen)題，必須(xu)確保能夠(gou)比產生(sheng)靜電(dian)(dian)荷更快的(de)(de)速(su)度將其驅散。對醞標準的(de)(de)手工操作和(he)(he)人體(ti)活動，電(dian)(dian)荷的(de)(de)衰減時間必須(xu)是(shi)0.25秒或者更少(shao)。與(yu)風險(xian)(xian)控(kong)制有(you)關的(de)(de)新觀念(nian)是(shi)，如(ru)果靜電(dian)(dian)荷遇到高(gao)電(dian)(dian)容的(de)(de)某種材料(liao)，那(nei)么表面(mian)電(dian)(dian)壓就會降低(di)，于是(shi)潛在的(de)(de)問(wen)題和(he)(he)損害(hai)就可以防范。許多公司已經采取(qu)一些措施來預防靜電(dian)(dian)，例如(ru)安裝(zhuang)導電(dian)(dian)地板或導電(dian)(dian)的(de)(de)袋子來儲存和(he)(he)傳送零部件。
避免因靜電放電對微電子系(xi)統(tong)產(chan)生(sheng)影響的最基本的方法是，將設備安放在良好的靜電和磁場(chang)屏蔽(bi)場(chang)所(suo)內，恰(qia)當(dang)減(jian)少所(suo)有的輸入(ru)和輸出連接。
12. 能(neng)源和生產費用(yong)。花費因素(su)變量：-0.017至0.15
如(ru)(ru)表(biao)2所(suo)示，再循環AHU風機和冷(leng)卻空氣的(de)DX裝(zhuang)置產生(sheng)的(de)成(cheng)本是(shi)(shi)引(yin)人關(guan)注的(de)，大約(yue)是(shi)(shi)全部(bu)(bu)HVAC生(sheng)產成(cheng)本的(de)35%。使用最新(xin)設計(ji)的(de)裝(zhuang)置能夠(gou)節約(yue)生(sheng)產成(cheng)本，例如(ru)(ru)風機過濾VFD驅(qu)動、高效(xiao)率馬(ma)達、帶有冷(leng)卻塔的(de)冷(leng)卻系統、局部(bu)(bu)熱水再熱循環、絕(jue)熱加濕。
潔(jie)凈室的嚴(yan)格清潔(jie)要(yao)求與它固有的高生產成(cheng)(cheng)本相關。然而(er)，如果事先計劃好，可以大(da)(da)大(da)(da)降低(di)成(cheng)(cheng)本：
l 精(jing)確(que)定義潔凈(jing)室級別，滿足工藝要(yao)求。
l 精確定義(yi)潔(jie)凈室空氣溫度和(he)濕度，滿足工藝要求(qiu)。
l 潔凈室外的(de)排風(feng)量應滿(man)足工(gong)藝(yi)的(de)最(zui)低(di)要求，一開始(shi)就(jiu)進行排風(feng)管(guan)理(li)程序。在(zai)設計開始(shi)，就(jiu)在(zai)所有的(de)排氣支管(guan)和(he)工(gong)藝(yi)設備上提供氣流和(he)壓(ya)差的(de)批示儀器。
l 通過(guo)確定設備風速的(de)最(zui)大值(zhi)和最(zui)小值(zhi)，來降低風管和管道的(de)壓(ya)降，在施(shi)工整個過(guo)程(cheng)中貫徹這些指導(dao)方針。
l 使(shi)用微環境、手(shou)套箱、真空室和模塊式圍擋;減少大(da)窨(yin)的需求(qiu)，從而降低生(sheng)產成本。
l 使用帶VFD(變頻)驅動的高效率馬達。
l 使用補充循環(huan)和排風系(xi)統來減(jian)少壓降并節(jie)約空間。
13. 形(xing)式和功能。花費(fei)因素變量：-0.038至0.16
一般而言，20,000到(dao)30,000平(ping)方(fang)英(ying)尺的(de)(de)(de)潔凈(jing)室面(mian)(mian)積需要60,000到(dao)90,000平(ping)方(fang)英(ying)尺的(de)(de)(de)建(jian)筑面(mian)(mian)積。為(wei)了在(zai)高(gao)度方(fang)面(mian)(mian)有大約10英(ying)尺的(de)(de)(de)間隙空(kong)間，建(jian)筑高(gao)度必須(xu)要在(zai)大約21到(dao)26英(ying)尺。另(ling)外應在(zai)潔凈(jing)室外層上面(mian)(mian)或下面(mian)(mian)另(ling)有12到(dao)16英(ying)尺的(de)(de)(de)空(kong)間用(yong)于安裝暖通、動力專業(ye)設(she)備。
為了有(you)最(zui)大(da)限(xian)度的(de)靈活性，潔凈室(shi)內部不應(ying)有(you)任何的(de)柱子。屋(wu)頂結構應(ying)有(you)最(zui)小(xiao)深度，并(bing)且能夠隨每平方英尺100至200磅(bang)的(de)負荷，以(yi)便安(an)裝那些懸掛在上部結構的(de)水(shui)管、風管和空氣(qi)處(chu)理裝置。
通常情況下，間(jian)隙(xi)空(kong)(kong)間(jian)被用來作為回風靜壓箱(xiang)。因(yin)此，這些個空(kong)(kong)間(jian)和建筑物應(ying)用陰燃(ran)材料建造(zao)。間(jian)隙(xi)空(kong)(kong)間(jian)，也就(jiu)是(shi)吊頂下面(mian)的空(kong)(kong)間(jian)，應(ying)該有(you)噴淋裝置。
應嚴格執(zhi)行(xing)(xing)現(xian)行(xing)(xing)的(de)(de)國家防火協會(NFPA)法(fa)(fa)規(gui)(gui)，連同當地安全法(fa)(fa)規(gui)(gui)一起執(zhi)行(xing)(xing)。獲得施(shi)工(gong)許可(ke)證(zheng)(zheng)(生產許可(ke)證(zheng)(zheng))可(ke)能是(shi)長期的(de)(de)、昂貴的(de)(de)，如果(guo)不執(zhi)行(xing)(xing)全部建(jian)筑和防火安全法(fa)(fa)規(gui)(gui)將是(shi)無效的(de)(de)。同樣(yang)的(de)(de)，所有豁免和條款(kuan)解(jie)釋需要有文(wen)件證(zheng)(zheng)明，并事先(xian)通過官方的(de)(de)批(pi)準。
潔凈(jing)室(shi)的外面(mian)如果有(you)足夠的窨 用來(lai)安(an)裝(zhuang)(zhuang)暖通(tong)、動力(li)和工藝設備，例(li)如，冷(leng)凍(dong)機、熱交換器(qi)、泵、DI水設備、儲液(ye)槽(cao)等，那么潔凈(jing)間(jian)(jian)可(ke)沿著潔凈(jing)室(shi)的內墻建立。理(li)想的情況(kuang)是，在設計者(zhe)和業主確定處理(li)管(guan)路溝槽(cao)的要(yao)求(qiu)，和對(dui)振動敏(min)感的設備的安(an)裝(zhuang)(zhuang)位置以前，潔凈(jing)室(shi)不應(ying)該灌(guan)注水泥地(di)板。地(di)下室(shi)或次地(di)下室(shi)空間(jian)(jian)對(dui)于工藝和動力(li)管(guan)道(dao)系統、工具和生產設備的電(dian)纜分布、排風(feng)和回風(feng)管(guan)道(dao)系統來(lai)講是必需的。
通常(chang)(chang)需要(yao)有非常(chang)(chang)大的(de)(de)(de)占有足夠空間電器設備(bei)。在這種情況下，必須確認有足夠的(de)(de)(de)動(dong)力(li)供應。與半(ban)導體和藥品生(sheng)產(chan)相(xiang)關的(de)(de)(de)高(gao)用(yong)水(shui)(shui)(shui)(shui)量(liang)，要(yao)求廢話水(shui)(shui)(shui)(shui)處(chu)理的(de)(de)(de)容量(liang)和下水(shui)(shui)(shui)(shui)管線足夠大，以便對(dui)預其(qi)的(de)(de)(de)污水(shui)(shui)(shui)(shui)進行處(chu)理。目標永遠是(shi)排(pai)放(fang)(fang)最水(shui)(shui)(shui)(shui)的(de)(de)(de)廢水(shui)(shui)(shui)(shui)。今天(tian)，零排(pai)放(fang)(fang)的(de)(de)(de)設備(bei)是(shi)十(shi)分(fen)普遍(bian)的(de)(de)(de)，它不再是(shi)目前發(fa)展水(shui)(shui)(shui)(shui)平的(de)(de)(de)特點(dian)。
一(yi)個有經驗(yan)的(de)建筑師對(dui)潔凈室設(she)備(bei)(bei)輸入能(neng)(neng)量的(de)設(she)計(ji)不(bu)能(neng)(neng)被夸大或(huo)忽(hu)略。這(zhe)對(dui)于(yu)設(she)備(bei)(bei)的(de)品(pin)質(zhi)和成本效率(lv)有巨大的(de)影響。應對(dui)高科(ke)技設(she)備(bei)(bei)的(de)功能(neng)(neng)進行全面了(le)解(jie)，從而確(que)定是否采(cai)用該設(she)備(bei)(bei)。潔凈室外的(de)細節(jie)決定了(le)設(she)備(bei)(bei)的(de)建筑方案(an)，就象速度的(de)要求決定了(le)賽(sai)車的(de)大小和形(xing)狀。
對設備作用及現在和(he)將來的需(xu)求有充分認識的潔凈室(shi)建筑(zhu)師(shi)，配合(he)合(he)格的潔凈室(shi)暖通、動力專業設計工(gong)程師(shi)、結(jie)構和(he)電氣專家(jia)和(he)業主組成團隊，是每(mei)個成功設計的必需(xu)。
14. 微(wei)粒。花費因素(su)變量：-0.040至0.15
15. 工藝管道系統。花費因素變量：-0.021至0.20
不應取消(xiao)這(zhe)些因素(14和15)對(dui)于成本影響的討論，同時，因為這(zhe)些變量對(dui)于每(mei)個工廠(chang)都是獨特(te)的，最好不要(yao)對(dui)它(ta)進行綜合評(ping)論。不過，它(ta)們(men)會在內部表(biao)格內提及。
只有時間能夠告訴我們……
潔凈室(shi)設施的(de)設計過程是動態(tai)的(de)，并具有創造(zao)性的(de)。我所(suo)說的(de)內容不會一(yi)成(cheng)不變，法凈室(shi)可能發展成(cheng)與(yu)我們今天所(suo)了解的(de)完全不同的(de)潔凈室(shi)。
微(wei)環境、屏蔽技術、手套(tao)箱和自動控制已經改變(bian)了潔(jie)凈室的(de)外觀和運行。但是，與今天(tian)的(de)潔(jie)凈室在幾十年(nian)前(qian)還是聞所(suo)未聞一樣(yang)，明天(tian)生產設備的(de)技術將勿(wu)庸(yong)置(zhi)疑地(di)向(xiang)我們(men)展現出(chu)非凡的(de)驚喜，并向(xiang)我們(men)今天(tian)的(de)所(suo)有發出(chu)挑(tiao)戰。
在(zai)潔(jie)凈(jing)室(shi)內建(jian)造十(shi)分完善的(de)系統，可以充(chong)分保證生(sheng)(sheng)產加工(gong)過(guo)程中的(de)潔(jie)凈(jing)度。任何設計標準的(de)變化，必(bi)將對(dui)潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)質(zhi)量(liang)產生(sheng)(sheng)特殊效果。以下這(zhe)十(shi)五個(ge)因素將決定一個(ge)潔(jie)凈(jing)室(shi)在(zai)施工(gong)方(fang)面的(de)費用。這(zhe)項(xiang)花費可能(neng)在(zai)每平(ping)方(fang)英(ying)尺180美元(yuan)到2,800美元(yuan)之間(要看是(shi)不是(shi)包括工(gong)具以及裝配和(he)工(gong)藝設備的(de)費用)。
愛斯基摩人能夠用(yong)(yong)很多的(de)詞(ci)匯(hui)來描繪雪，而(er)我們的(de)工業(ye)對(dui)于潔(jie)凈只有一(yi)個單(dan)詞(ci)和明(ming)(ming)確的(de)價格來說明(ming)(ming)它。我們常(chang)常(chang)發(fa)現，客戶會支(zhi)付很高的(de)設計(ji)費用(yong)(yong)，為了(le)一(yi)個超出其(qi)工藝要(yao)求的(de)潔(jie)凈室而(er)支(zhi)付無謂的(de)費用(yong)(yong)。
潔凈室的(de)(de)(de)(de)設(she)計(ji)(ji)(ji)(ji)和(he)施工(gong)通(tong)常(chang)是(shi)在非常(chang)緊張的(de)(de)(de)(de)時(shi)間限定(ding)下完成的(de)(de)(de)(de)，可供選擇、改變、和(he)其他(ta)可行(xing)性改進(jin)的(de)(de)(de)(de)機會很少。因(yin)(yin)此，鼓勵使(shi)用“標(biao)準件復制”(cookie-cutter repeats)來避免新(xin)設(she)計(ji)(ji)(ji)(ji)方(fang)法中的(de)(de)(de)(de)潛在風險。這(zhe)些(xie)標(biao)準的(de)(de)(de)(de)潔凈室設(she)計(ji)(ji)(ji)(ji)方(fang)案可能(neng)會減輕設(she)計(ji)(ji)(ji)(ji)者的(de)(de)(de)(de)任務，但(dan)不(bu)會改進(jin)項目的(de)(de)(de)(de)經濟性或者降低施工(gong)成本。因(yin)(yin)為每(mei)個潔凈室所要求的(de)(de)(de)(de)條件在一些(xie)細微的(de)(de)(de)(de)方(fang)面(mian)都是(shi)不(bu)同的(de)(de)(de)(de)，若不(bu)是(shi)所進(jin)行(xing)的(de)(de)(de)(de)設(she)計(ji)(ji)(ji)(ji)/施工(gong)模型(xing)完全相同，那么(me)采用標(biao)準的(de)(de)(de)(de)潔凈室設(she)計(ji)(ji)(ji)(ji)方(fang)案是(shi)無(wu)效的(de)(de)(de)(de)。
除非業(ye)主對于一個特殊的(de)設計(ji)模型十(shi)分有信心，通(tong)常工程師都被要求(qiu)設計(ji)一個比客戶預期更加嚴格的(de)潔(jie)凈室，這樣即使(shi)在某些方(fang)面出了(le)差錯(cuo)，他們至少仍能(neng)夠達到預期目的(de)。過多的(de)設計(ji)預算可能(neng)會浪費(fei)金錢，但是(shi)當實(shi)際需求(qiu)的(de)預算還沒有評(ping)估(gu)出來之(zhi)(zhi)前，這樣做是(shi)必須的(de)。潔(jie)凈室花費(fei)的(de)增加與設計(ji)和施工專家、潔(jie)凈室開發(fa)者和業(ye)主三者之(zhi)(zhi)間(jian)的(de)相互(hu)信任(ren)成(cheng)反比。
項目負責
工具(ju)動力(li)供應(ying)與生(sheng)產設備(bei)的(de)(de)(de)(de)有效(xiao)連接;維修區域、管(guan)槽、走(zou)廊、暖通(tong)、動力(li)專業(ye)(ye)設備(bei)間和動力(li)站的(de)(de)(de)(de)位置(zhi)等問(wen)題的(de)(de)(de)(de)合理安排，這些(xie)是潔凈室設計經濟性(xing)的(de)(de)(de)(de)主要(yao)方(fang)面。在項目(mu)剛剛開(kai)始時就應(ying)該考慮到(dao)這些(xie)因(yin)素，并通(tong)過由建筑師、工程師、承包商和業(ye)(ye)主組成的(de)(de)(de)(de)進(jin)行評估。這樣才(cai)能確保所有參與者十(shi)分了解(jie)用(yong)戶(hu)的(de)(de)(de)(de)生(sheng)產目(mu)標和要(yao)求，這點是一(yi)個設計施(shi)工項目(mu)在經濟性(xing)方(fang)面取得成功的(de)(de)(de)(de)關鍵。
簡單的說，業主對(dui)于所需潔凈室的類型特征進(jin)行恰當的選擇，會對(dui)最終的花(hua)費產(chan)生(sheng)至(zhi)關重要的影響(xiang)。這沒有“數字猜謎游戲”式的解(jie)決(jue)方案(an)。業主、工(gong)程師(shi)、建筑(zhu)師(shi)、承包商(shang)都必須了解(jie)規范或ISO標準中(zhong)那些不必要的變量/因(yin)素對(dui)于花(hua)費的影響(xiang)，因(yin)此(ci)需要評估每一(yi)個生(sheng)產(chan)細節(jie)和生(sheng)產(chan)要求。在開(kai)始任何的設計之前(qian)，這個團隊必須要一(yi)起(qi)工(gong)作以確定(ding)目標、需求和期望。
個案研究
為分析潔凈室(shi)施工花費與十五個關(guan)鍵(jian)設計(ji)因素的(de)關(guan)系，我們將美國二十個潔凈室(shi)設施的(de)數據編(bian)輯如下：
在1983年(nian)至2003年(nian)間，建立的(de)十個微(wei)電子生產工(gong)廠，潔(jie)凈(jing)室的(de)潔(jie)凈(jing)度(du)等級是ISO5級和ISO 6級
在1983年至1996年間(jian)，建立的四個(ge)制藥和(he)生物制藥工廠(chang)，潔(jie)(jie)凈室的潔(jie)(jie)凈度(du)等級(ji)是ISO 5級(ji)和(he)ISO 7級(ji)。
在1994年(nian)至2003年(nian)間，建立瓣十個微電子生(sheng)產工廠，潔凈室的潔凈度等級(ji)分別是(shi)ISO3級(ji)、ISO 5級(ji)、ISO7級(ji)和ISO 8級(ji)。
在(zai)1994至2004年前，建立的八個生物制藥工廠，潔凈室(shi)的潔凈度等(deng)級(ji)(ji)分別是(shi)ISO4級(ji)(ji)、ISO5級(ji)(ji)、ISO7級(ji)(ji)和ISO8級(ji)(ji)。
通過對暖(nuan)通、動(dong)力專業(HVAC，工(gong)(gong)藝管道)工(gong)(gong)程費(fei)(fei)用(yong)(yong)數據的(de)推斷，綜合考慮地點、勞務(wu)費(fei)(fei)用(yong)(yong)和通貨膨脹等因素，進行調整，從而得到一(yi)個統一(yi)的(de)關于(yu)潔凈室(shi)暖(nuan)通、動(dong)力專業工(gong)(gong)程費(fei)(fei)用(yong)(yong)分類的(de)簡單描述，該分類包括(kuo)ISO3級、ISO5級、ISO7級和ISO8級每一(yi)類的(de)潔凈室(shi)。
本次分析所選(xuan)擇的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)，設施(shi)面積相差不多，都在(zai)40,000到(dao)60，000平(ping)方英(ying)尺之間，并且都有(you)30%到(dao)40%的(de)生(sheng)(sheng)產窨被(bei)不同等級的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)、潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)走廊和氣閘占用(yong)(yong)。使(shi)用(yong)(yong)相同的(de)方法(fa)計(ji)算暖通(tong)、動力專(zhuan)業設備的(de)生(sheng)(sheng)產費用(yong)(yong)，從而(er)得到(dao)花費的(de)詳細統(tong)計(ji)如(ru)表(biao)2所示。這種方法(fa)統(tong)一(yi)了暖通(tong)、動力專(zhuan)業工(gong)程費用(yong)(yong)，而(er)沒有(you)區分微電子(zi)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)、制(zhi)藥(yao)(yao)和生(sheng)(sheng)物(wu)制(zhi)藥(yao)(yao)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(計(ji)算數據如(ru)表(biao)3、表(biao)4、表(biao)5、表(biao)6和表(biao)7所示)。
基于以(yi)(yi)上這些(xie)表(biao)格，以(yi)(yi)ISO 5級潔凈(jing)室(shi)暖、動力專業工程花費(fei)(fei)為基線繪制了“關鍵(jian)價值(zhi)因素”圖表(biao)(圖1);從(cong)而得到花費(fei)(fei)因素價值(zhi)數(shu)據，如表(biao)8所示。這些(xie)經驗變量可以(yi)(yi)用(yong)百分數(shu)的(de)(de)形式乘以(yi)(yi)每平方(fang)英尺的(de)(de)工程費(fei)(fei)用(yong)來(lai)計算不同類型潔凈(jing)室(shi)的(de)(de)花費(fei)(fei)，也(ye)能在項目初期幫助(zhu)進行(xing)工程費(fei)(fei)用(yong)評(ping)估。
成功(gong)的十五個方法
利(li)用以下(xia)十五個(ge)成本因素變量，提供(gong)可供(gong)選擇的(de)(de)設(she)(she)計方案動態數據(ju)庫(ku)，對基(ji)本的(de)(de)潔(jie)凈室設(she)(she)計和標準進(jin)行改進(jin)，盡量滿足工廠的(de)(de)需(xu)求，通過這(zhe)些方法我們(men)應(ying)能夠減少項目的(de)(de)工程費用。ATI的(de)(de)建(jian)筑(zhu)師和工程師(Danville,Calif.;www.Atlae.com)應(ying)用這(zhe)些方法成功地為(wei)生物制藥學、微(wei)電子學和食品加工行業(ye)的(de)(de)潔(jie)凈室進(jin)行設(she)(she)計，并實施(shi)了施(shi)工工程。
1. 換氣次數。花費因素(su)變量：-0。08至0。19
潔凈室(shi)內的(de)(de)空氣(qi)分配設備(通(tong)常是吊頂過(guo)濾器)被設計(ji)成“噴(pen)(pen)淋式”，用(yong)來提供統(tong)一的(de)(de)、潔凈的(de)(de)已過(guo)濾的(de)(de)空氣(qi)。向房間(jian)補給的(de)(de)空氣(qi)量，讓人想起與普(pu)通(tong)的(de)(de)淋浴噴(pen)(pen)頭(tou)相反的(de)(de)消防龍頭(tou)。美國聯邦標(biao)準209E、日本標(biao)準JIS B9920和ISO 標(biao)準14644-1的(de)(de)標(biao)題是：潔凈室(shi)外和相關控制(zhi)環(huan)境(jing)——第一部(bu)分：清(qing)潔空氣(qi)的(de)(de)分級。這些標(biao)準提供了潔凈室(shi)參數、分級和檢測(ce)方(fang)(fang)法的(de)(de)指導方(fang)(fang)針，但并未(wei)說明如(ru)何經濟有效地達到要求。這是因(yin)為每種生產過(guo)程(cheng)和潔凈室(shi)外的(de)(de)要求是不同的(de)(de)，因(yin)此，可以(yi)采用(yong)不同的(de)(de)再循環(huan)空氣(qi)量，達到預期(qi)的(de)(de)環(huan)境(jing)要求。
至少有(you)五種不(bu)同的(de)(de)“可能”設計能夠達(da)到預期的(de)(de)結果，然而只有(you)一(yi)種設計是最(zui)佳方案。為(wei)項目尋(xun)找最(zui)佳和(he)最(zui)經(jing)濟的(de)(de)解決方案，是潔凈(jing)室外(wai)換氣項目的(de)(de)最(zui)基本的(de)(de)目標(biao)理念(nian)。
如表1所示，換(huan)氣(qi)次(ci)數和再循環數量變化對于確(que)定房(fang)間的(de)(de)(de)級(ji)別是十分重要(yao)的(de)(de)(de)。例(li)如，通過300次(ci)的(de)(de)(de)換(huan)氣(qi)次(ci)數能(neng)夠達到(dao)M2級(ji)潔凈(jing)室的(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)，但也可能(neng)540次(ci)的(de)(de)(de)換(huan)氣(qi)次(ci)數仍不能(neng)滿足(zu)要(yao)求(qiu)。
房(fang)間(jian)內(nei)污染物的比率(lv)和(he)實際微粒產生(sheng)情(qing)況(kuang)(kuang)，是(shi)影(ying)響潔凈室(shi)空(kong)氣(qi)換氣(qi)次數的主要(yao)因素(su)。在生(sheng)產過(guo)程中，不(bu)對其他因素(su)產生(sheng)任何影(ying)響的情(qing)況(kuang)(kuang)下，清(qing)除微粒的速(su)度(du)是(shi)非常重要(yao)的。其他可能影(ying)響再循(xun)環(huan)空(kong)氣(qi)數量的因素(su)是(shi)：房(fang)間(jian)的結(jie)構、設(she)備的位置(zhi)、設(she)備表面溫度(du)、空(kong)氣(qi)對流、氣(qi)流類型(單向通(tong)過(guo)敏感區或者通(tong)過(guo)全空(kong)間(jian))、操(cao)作空(kong)間(jian)和(he)規章、使用的材(cai)料和(he)化學藥品(pin)等。
潔(jie)凈室可(ke)能需要在靜(jing)態下進(jin)行(xing)鑒(jian)(jian)定，在工況下進(jin)行(xing)鑒(jian)(jian)定，對生產(chan)過程進(jin)行(xing)確認或(huo)者cGMP認證。由(you)綜合服務管理部制定的(de)聯邦(bang)標(biao)準(zhun)209(e)，建議100或(huo)90fpm。然而有(you)可(ke)能建立一個空氣流(liu)動速(su)度較低，但比(bi)100級潔(jie)凈度更高(gao)的(de)潔(jie)凈室。實際上，已經(jing)有(you)潔(jie)凈室的(de)空氣流(liu)動速(su)度是45cfm/平方英尺(chi)。
2. 單向(xiang)的(de)(de)、紊(wen)流的(de)(de)、垂(chui)直(zhi)或(huo)水(shui)平氣流。
花費因素變量：-0.073至0.18
在(zai)許多(duo)案(an)例中，單(dan)向(xiang)(xiang)氣(qi)流(liu)只在(zai)小空間和(he)潔凈室的(de)敏感(gan)區域(yu)內(nei)使(shi)用，并且使(shi)用微環境(jing)。污(wu)(wu)染物(wu)的(de)源頭可(ke)能存在(zai)于手套箱、過濾模塊等地(di)方(fang)。多(duo)數設計為整體(ti)單(dan)向(xiang)(xiang)氣(qi)流(liu)潔凈室外的(de)方(fang)案(an)，只有(you)在(zai)這些區域(yu)中沒有(you)作業者、生產設備和(he)排風(feng)裝置時才能實現單(dan)向(xiang)(xiang)氣(qi)流(liu)。垂(chui)直或水平(ping)氣(qi)流(liu)的(de)選擇，取決于房(fang)間的(de)結構和(he)設備的(de)安(an)放位置，紊流(liu)就可(ke)以將污(wu)(wu)染物(wu)帶走(zou)。
潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)(shi)內的架空地板是用(yong)來掩蓋工具、設(she)(she)備與動力(li)設(she)(she)備之間的電(dian)線、通(tong)訊電(dian)纜、水電(dian)、管道的連接的。后來，為(wei)了節約成本，在“bay-and-chase”式的潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)(shi)結構中(zhong)，這(zhe)些(xie)架空地板被當作從港(gang)灣到(dao)夾層的回(hui)內通(tong)道。在完(wan)全單(dan)向氣(qi)流的潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)(shi)內，人(ren)們希望微粒(li)從工作區域流到(dao)帶小孔的地板下(xia)。我們已經成功的建立了10級(ji)和(he)100級(ji)的潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)(shi)，在這(zhe)些(xie)潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)(shi)內沒有架空地板，采用(yong)墻下(xia)部(bu)回(hui)風系統，而且潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)(shi)的氣(qi)流被設(she)(she)計成紊流。
另(ling)個一(yi)種(zhong)辦法是用(yong)薄的(de)(de)空(kong)氣噴(pen)射裝置隔離(li)超清潔區域，這種(zhong)空(kong)氣噴(pen)射的(de)(de)速(su)度是每分鐘500到800英(ying)尺。它的(de)(de)功能類(lei)似于(yu)塑料門簾。
3. 空氣過濾。花(hua)費因素變量：-0.032至0.10
采用未端HEPA過濾(lv)(lv)器對空氣進(jin)行過濾(lv)(lv)，0.3到0.5微米(mi)的去除(chu)效(xiao)率(lv)為99.99%,0.12微米(mi)的去除(chu)效(xiao)率(lv)為99.999%;若使用ULPA過濾(lv)(lv)器，0.12微米(mi)的去除(chu)效(xiao)率(lv)為99.99995%。
根據潔(jie)凈室(shi)外的(de)用(yong)(yong)途(tu)，也可以(yi)選擇其他(ta)的(de)設備，例如(ru)，在循環風加新風處(chu)理系統中，使用(yong)(yong)HEPA過(guo)濾(lv)器用(yong)(yong)碳(tan)吸附(fu)或相(xiang)似功能的(de)合成過(guo)濾(lv)器處(chu)理VOC，靜電過(guo)濾(lv)箱，等(deng)等(deng)。
在潔凈室(shi)(shi)市場(chang)上，風(feng)機過(guo)濾(lv)不再(zai)是(shi)新產品，正(zheng)確的應用(yong)它可以為許(xu)多高水(shui)平(ping)潔凈室(shi)(shi)提供卓越的、經濟(ji)的解(jie)決方案，尤(you)其(qi)是(shi)在吊頂高度有限的建(jian)筑(zhu)內。已證明降(jiang)(jiang)低成本(ben)和減小過(guo)濾(lv)器(qi)的壓(ya)降(jiang)(jiang)(在潔凈室(shi)(shi)壽命期內，使用(yong)低等級過(guo)濾(lv)器(qi)，長時間采用(yong)高壓(ya)降(jiang)(jiang)方式運轉，所(suo)帶來的效益并不總是(shi)十分(fen)明顯(xian))。
4. 空氣處理器。花費因素(su)變量：-0.07至0.15
新風(feng)處理空調箱(xiang)[Make-up AHU s]。典型的(de)新風(feng)處理空調箱(xiang)(初級AHU s)為循(xun)環風(feng)空調箱(xiang)(二(er)級AHU s)提供必需的(de)新風(feng)。新風(feng)由(you)離心排風(feng)機(ji)(ji)、軸(zhou)流或(huo)plug風(feng)機(ji)(ji)加上過(guo)濾(lv)器(qi)、預熱(re)和再(zai)熱(re)用熱(re)水盤管(guan)、冷卻和除濕(shi)使用的(de)冷凍水盤管(guan)、蒸汽(qi)和絕(jue)熱(re)加濕(shi)器(qi)等(deng)組(zu)成。附件和差(cha)異包括靜電(dian)空氣混(hun)合器(qi)、蒸汽(qi)預熱(re)盤管(guan)、超(chao)聲波加濕(shi)器(qi)、鹽(yan)水、除濕(shi)用的(de)直接交換[Dx]或(huo)乙二(er)醇低溫冷凍盤管(guan)、VOC吸附過(guo)濾(lv)器(qi)、噪聲衰減器(qi)，VFP(變(bian)頻(pin))驅動等(deng)。
最近12年，M&I傳熱產品(pin)公(gong)司(位于米(mi)西所加，網址：www.miair.com)成功地研制和生產了(le)非(fei)常(chang)經(jing)濟、可靠(kao)的(de)(de)風機(ji)系統(tong)(tong)。這(zhe)些系統(tong)(tong)工作起來非(fei)常(chang)安靜，并且(qie)消耗的(de)(de)能源很低(di)，通常(chang)比離(li)心式或plug風機(ji)系統(tong)(tong)能耗少20%。
新風(feng)(feng)處(chu)理空(kong)調(diao)箱(xiang)(xiang)通道是將(jiang)空(kong)氣注入集管，再通過支管系統給循(xun)環(huan)風(feng)(feng)空(kong)調(diao)箱(xiang)(xiang)提(ti)供新風(feng)(feng)。在(zai)初(chu)級和二級風(feng)(feng)管上(shang)進(jin)行空(kong)氣測量，并(bing)調(diao)節送風(feng)(feng)機、VFD或進(jin)口風(feng)(feng)閥以(yi)便恒定風(feng)(feng)量。Magnahelic講量器(qi)(qi)臨測安裝在(zai)各個空(kong)調(diao)箱(xiang)(xiang)內HEPA過濾(lv)器(qi)(qi)布袋(dai)過濾(lv)器(qi)(qi)和預(yu)過濾(lv)器(qi)(qi)的荷(he)載(zai)。有吊頂風(feng)(feng)機過濾(lv)器(qi)(qi)的情況下，新風(feng)(feng)處(chu)理空(kong)調(diao)箱(xiang)(xiang)出(chu)來的空(kong)氣進(jin)入循(xun)環(huan)風(feng)(feng)空(kong)調(diao)箱(xiang)(xiang)再送出(chu)。
循環(huan)風(feng)空調箱(xiang)(Recirculation AHU s)。典型的循環(huan)風(feng)空調箱(xiang)由高效離心式(shi)風(feng)機(ji)、過濾器(qi)和(he)濕熱(re)(干)冷盤管(guan)組成。附加(jia)和(he)差異包括用(yong)于(yu)局部溫度控制(zhi)的再熱(re)盤管(guan)、用(yong)于(yu)局部濕度控制(zhi)的蒸(zheng)汽或超聲波加(jia)濕器(qi)、風(feng)量恒定控制(zhi)箱(xiang)。這種采用(yong)Whisper-Air and Compac Space 風(feng)機(ji)系統的方式(shi)提供了一種節約成本和(he)充分使用(yong)能(neng)源的選擇。
多重循(xun)(xun)環風(feng)(feng)空(kong)(kong)調箱(xiang)通(tong)過(guo)(guo)送風(feng)(feng)管(guan)，再(zai)(zai)經(jing)過(guo)(guo)ULPA過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)或HEPA過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)，將空(kong)(kong)氣(qi)(qi)送入(ru)潔(jie)凈(jing)室(shi)，在潔(jie)凈(jing)度等級為10級和1級的(de)潔(jie)凈(jing)間的(de)吊(diao)頂(ding)上，這些過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)通(tong)常是100%覆蓋。垂(chui)直(zhi)單向(xiang)氣(qi)(qi)流(liu)向(xiang)下通(tong)過(guo)(guo)潔(jie)凈(jing)間，穿過(guo)(guo)帶孔的(de)架空(kong)(kong)地板(ban)(ban)磚進(jin)(jin)入(ru)地板(ban)(ban)下面的(de)回風(feng)(feng)空(kong)(kong)間，再(zai)(zai)通(tong)過(guo)(guo)垂(chui)直(zhi)回風(feng)(feng)夾道向(xiang)上進(jin)(jin)入(ru)吊(diao)頂(ding)回風(feng)(feng)靜壓箱(xiang)。然后 ，空(kong)(kong)氣(qi)(qi)再(zai)(zai)次進(jin)(jin)入(ru)循(xun)(xun)環風(feng)(feng)空(kong)(kong)調箱(xiang)，以上的(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)循(xun)(xun)環再(zai)(zai)次重復(fu)。如果是使(shi)用吊(diao)頂(ding)風(feng)(feng)機(ji)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)，在風(feng)(feng)機(ji)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)上面的(de)吊(diao)頂(ding)空(kong)(kong)間時，可以安(an)裝水或直(zhi)接交換冷卻[DX-cooled]風(feng)(feng)機(ji)盤管(guan)實現表面冷卻。
5. 空氣壓差。花(hua)費因(yin)素變量：-0.041至0.08
潔凈室(shi)增壓(ya)是(shi)必須的(de)(de)(de)，它的(de)(de)(de)作用(yong)是(shi)確保潔凈室(shi)遠離其臨近區域的(de)(de)(de)污(wu)(wu)染(ran)，控制有(you)害(hai)污(wu)(wu)染(ran)物的(de)(de)(de)流向，防止不同區域間的(de)(de)(de)交叉污(wu)(wu)染(ran)，并幫助(zhu)保持所要求的(de)(de)(de)溫(wen)度和(he)濕(shi)度水平。
潔凈室與相關走廊、設(she)施內的(de)(de)(de)其他區域的(de)(de)(de)壓差(cha)應(ying)維持(chi)在0.25到0.005英寸(cun)水柱(in.w.g.)之(zhi)(zhi)間(jian)。一般制藥企業(ye)所要求的(de)(de)(de)壓差(cha)值(zhi)比這更高，在不(bu)同區域之(zhi)(zhi)間(jian)采用層疊壓差(cha)來(lai)避免(mian)交叉污染。在不(bu)同的(de)(de)(de)區域間(jian)安裝一系列的(de)(de)(de)層疊式氣(qi)閘(zha)(zha)(zha)和(he)允許空氣(qi)快速擴散(san)的(de)(de)(de)正(zheng)壓門，從而(er)產(chan)生壓差(cha)。好的(de)(de)(de)微電子(zi)潔凈室設(she)計中，通常在潔凈室的(de)(de)(de)入口安裝一個(ge)半密封的(de)(de)(de)氣(qi)閘(zha)(zha)(zha)來(lai)使壓差(cha)保持(chi)在0.02到0。005in.w.g.之(zhi)(zhi)間(jian)。更衣間(jian)和(he)穿衣間(jian)用氣(qi)閘(zha)(zha)(zha)分離。入口入的(de)(de)(de)機械風淋相對(dui)于它(ta)的(de)(de)(de)必要性而(er)言(yan)，更是設(she)施文化和(he)潔凈室的(de)(de)(de)原(yuan)則問(wen)題。
許多微電子和光刻(ke)潔凈室成(cheng)功地采用(yong)被動氣壓(ya)控制(zhi)，只有(you)在(zai)大門(men)全部打開(kai)(kai)的(de)情況下(xia)，入口處(chu)的(de)風(feng)(feng)量維持在(zai)每分鐘(zhong)50到100英尺(chi)。一些生(sheng)物(wu)制(zhi)藥企業要求(qiu)主(zhu)動壓(ya)差(cha)控制(zhi)，采用(yong)補(bu)充新(xin)風(feng)(feng)的(de)方式，自(zi)動補(bu)足通過(guo)門(men)泄漏的(de)空氣(當門(men)打開(kai)(kai)時(shi))。
壓(ya)差(cha)臨測(ce)(ce)器(qi)用(yong)(yong)來完成這個(ge)(ge)任務，例(li)如Henry G.Dietz公司的產品(長島市，紐約;www.lowpressure.com)。監視器(qi)可(ke)能被安(an)裝(zhuang)(zhuang)在(zai)(zai)潔(jie)凈室外面，而在(zai)(zai)潔(jie)凈室內(nei)有(you)(you)一(yi)個(ge)(ge)LED的顯(xian)示(shi)器(qi)，該(gai)顯(xian)示(shi)器(qi)帶有(you)(you)一(yi)個(ge)(ge)聲音報警裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)和兩(liang)個(ge)(ge)指示(shi)器(qi)，可(ke)以表示(shi)氣壓(ya)的正(zheng)常(chang)與否。這種設備在(zai)(zai)生物(wu)制藥潔(jie)凈室中有(you)(you)生物(wu)限制要求的區(qu)域內(nei)通(tong)(tong)常(chang)用(yong)(yong)來測(ce)(ce)負壓(ya)值(zhi)，而在(zai)(zai)電子類(lei)潔(jie)凈室內(nei)，通(tong)(tong)常(chang)用(yong)(yong)來檢測(ce)(ce)負壓(ya)值(zhi)，而在(zai)(zai)電子類(lei)潔(jie)凈室內(nei)，通(tong)(tong)常(chang)用(yong)(yong)來檢測(ce)(ce)正(zheng)壓(ya)值(zhi)。它帶有(you)(you)數(shu)字壓(ya)差(cha)顯(xian)示(shi)器(qi)，顯(xian)示(shi)的精(jing)確度(du)是0.001 in.w.c.,測(ce)(ce)量壓(ya)力值(zhi)或真空度(du)的范圍(wei)是0.5 in.w.c。壓(ya)差(cha)通(tong)(tong)過閃亮LED和自動報警裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)來表示(shi)。當打開大門時(shi)，設備內(nei)部有(you)(you)一(yi)個(ge)(ge)可(ke)調(diao)整的延遲報警時(shi)間，用(yong)(yong)來避免啟動聲音報警裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)。
6. 溫度(du)控制。花費(fei)因素變量(liang)：-0.0321至 0.15
溫度(du)和濕度(du)的(de)(de)變化(hua)能夠引(yin)起生(sheng)產設備的(de)(de)誤差，從而(er)影響生(sheng)產過程的(de)(de)可重(zhong)復性，最(zui)終導致產品(pin)合格率降低、增(zeng)加浪(lang)費。因此，潔(jie)凈室對溫度(du)嚴(yan)格控(kong)制要求是顯而(er)易見(jian)的(de)(de)，這項花費是必須的(de)(de)。
通常(chang)情(qing)況下，要(yao)求工程(cheng)師在設計(ji)時降低(di)施(shi)工費用，同時要(yao)求在很(hen)大區(qu)域(yu)內對溫(wen)度(du)(du)(du)進(jin)行精確的(de)控制(zhi)，允許的(de)溫(wen)度(du)(du)(du)變化范圍(wei)在±4到6華氏(shi)度(du)(du)(du)之間(例如使(shi)用卷簾(lian)門的(de)倉庫)。在沒有硬墻和氣閘裝置時，這將是十分苛(ke)刻的(de)要(yao)求，并且實際上無法控制(zhi)濕度(du)(du)(du)的(de)變化。人(ren)們通常(chang)認(ren)為(wei)潔凈(jing)室外的(de)潔凈(jing)度(du)(du)(du)、溫(wen)度(du)(du)(du)、濕度(du)(du)(du)和氣壓等項目的(de)層疊性(xing)是非常(chang)容易(yi)達到的(de)，并且很(hen)容易(yi)維持，但需(xu)要(yao)仔細(xi)的(de)評估這些項目的(de)誤差范圍(wei)。
如(ru)(ru)果對(dui)潔(jie)凈(jing)(jing)室內的(de)暖通(tong)、動(dong)力專業裝置(zhi)和控(kong)制(zhi)系(xi)統有嚴格要(yao)(yao)求，例(li)如(ru)(ru)潔(jie)凈(jing)(jing)室的(de)溫(wen)度(du)控(kong)制(zhi)要(yao)(yao)求為正(zheng)負0.1華(hua)(hua)氏度(du)所用(yong)花費，可能比基準(zhun)點為70華(hua)(hua)氏度(du)，±2.0度(du)(即標準(zhun)要(yao)(yao)求68到72華(hua)(hua)氏度(du))的(de)高出(chu)20%到50%。
在(zai)每個潔凈室區(qu)域內(nei)，有局部(bu)自(zi)動(dong)調(diao)溫(wen)器來控制設計溫(wen)度。它能驅(qu)動(dong)安(an)裝在(zai)風(feng)管(guan)上的(de)局部(bu)再(zai)熱(re)或再(zai)冷盤管(guan)工作，來滿足房間內(nei)的(de)濕(shi)熱(re)的(de)要(yao)求(qiu)。如(ru)果使用(yong)風(feng)機(ji)盤管(guan)裝置(zhi)，局部(bu)自(zi)動(dong)調(diao)溫(wen)器控制本區(qu)域內(nei)盤管(guan)出口空氣的(de)溫(wen)度。
7. 溫度(du)控制(zhi)。花費因素變量：-0.034至0.19
每個(ge)潔(jie)凈(jing)室內的(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)，通(tong)過局部(bu)濕(shi)度(du)(du)調(diao)節器(qi)(qi)來進行(xing)控(kong)制。如果窨(yin)內的(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)較高，恒濕(shi)器(qi)(qi)通(tong)過降低(di)冷凍盤管(guan)流出空氣的(de)(de)(de)(de)溫度(du)(du)來加強除濕(shi)。同時(shi)，再熱盤管(guan)提供熱量來保(bao)持(chi)窨(yin)的(de)(de)(de)(de)溫度(du)(du)。任何一個(ge)潔(jie)凈(jing)間(jian)的(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)超(chao)出了設計范圍，局部(bu)恒濕(shi)器(qi)(qi)將啟動安裝在風(feng)管(guan)上的(de)(de)(de)(de)局部(bu)濕(shi)度(du)(du)調(diao)節器(qi)(qi)。當必須滿足精確的(de)(de)(de)(de)濕(shi)度(du)(du)控(kong)制時(shi)，通(tong)常(chang)利用空調(diao)箱中的(de)(de)(de)(de)新風(feng)的(de)(de)(de)(de)絕(jue)熱增濕(shi)效果來實現，并通(tong)過潔(jie)凈(jing)室的(de)(de)(de)(de)結^***來維持(chi)。
濕(shi)度(du)(du)水平的局部變動可(ke)以通過超聲波濕(shi)度(du)(du)調(diao)節器進(jin)行控(kong)制，該調(diao)節器位于(yu)最終(zhong)過濾前的風管靜壓箱內(nei)。用水水質為RO/DI，水電陰率在3到5mgm之(zhi)間。如果(guo)(guo)相對(dui)濕(shi)度(du)(du)低(di)于(yu)設(she)計(ji)范圍，恒(heng)濕(shi)器將啟動濕(shi)度(du)(du)調(diao)節器來增加新風的水分含量。如果(guo)(guo)相對(dui)濕(shi)度(du)(du)較(jiao)高，恒(heng)濕(shi)器將降(jiang)低(di)新風控(kong)制冷凍(dong)盤管流出空氣的^***溫度(du)(du)，從(cong)而加強除濕(shi)效(xiao)果(guo)(guo)。
8. 排風(feng)系統。花費因素變量：-0.031至0.16
典型的工藝(yi)排風系統包括：酸(suan)、溶劑和VOC、毒性(xing)物質(zhi)、熱和一(yi)般的房間排風。如果廢氣(qi)(qi)中有氨氣(qi)(qi)出(chu)現，一(yi)些(xie)廠家會選擇使用分開的風管系統和處理系統。使用最多、最普(pu)遍的酸(suan)消除方法，是水(shui)平或垂直(zhi)氣(qi)(qi)體(ti)洗滌塔。溶劑和VOC的去除通常運用就地或當場(chang)高溫破壞的方法。需(xu)要認真選擇支隊(dui)的方式及必須支隊(dui)的廢氣(qi)(qi)流量。
優質的(de)(de)(de)空氣(qi)處理設備(bei)能(neng)夠(gou)將(jiang)廢氣(qi)量降至最(zui)低(di)，因此，在實(shi)施過程中(zhong)可(ke)降低(di)工(gong)程費用和(he)能(neng)源浪費。保持排(pai)風量增加的(de)(de)(de)潛在需(xu)求(qiu)、擴大生產(chan)和(he)安裝這(zhe)些(xie)備(bei)用品所需(xu)的(de)(de)(de)經(jing)(jing)濟(ji)價值之間的(de)(de)(de)平衡是(shi)十(shi)分重要(yao)的(de)(de)(de)。通常情況下，考慮到潔(jie)凈(jing)室將(jiang)來的(de)(de)(de)擴展，當其它動力設備(bei)和(he)暖通、動力專業(ye)系(xi)統(tong)(例如新(xin)風和(he)冷卻(que))不(bu)(bu)能(neng)滿足這(zhe)種擴充的(de)(de)(de)需(xu)求(qiu)時，超(chao)大的(de)(de)(de)昂(ang)貴(gui)的(de)(de)(de)、不(bu)(bu)銹(xiu)鋼襯里的(de)(de)(de)或FRP排(pai)風系(xi)統(tong)就已經(jing)(jing)建(jian)立(li)了。沒有考慮將(jiang)來的(de)(de)(de)需(xu)求(qiu)而建(jian)立(li)的(de)(de)(de)酸排(pai)隊系(xi)統(tong)也是(shi)十(shi)分普遍的(de)(de)(de)。增加風量和(he)新(xin)的(de)(de)(de)風管支管，，就會使風管系(xi)統(tong)中(zhong)的(de)(de)(de)風速(su)超(chao)過每分鐘4000英(ying)尺。這(zhe)樣(yang)的(de)(de)(de)系(xi)統(tong)保持平衡是(shi)十(shi)分困難(nan)的(de)(de)(de)或不(bu)(bu)可(ke)能(neng)的(de)(de)(de)，并(bing)且運行的(de)(de)(de)費用昂(ang)貴(gui)。
9. 振動和(he)噪(zao)聲控制。花費(fei)因素(su)變量：-0.027至(zhi)0.10
設備(bei)的(de)(de)大小和重量影響(xiang)振動(dong)的(de)(de)傳播及控(kong)制。潔凈室地(di)板下(xia)面的(de)(de)“華夫(waffle)”混凝(ning)土(tu)板層(ceng)，能夠很好地(di)避免(mian)將(jiang)設備(bei)的(de)(de)振動(dong)傳送到其他生(sheng)產區(qu)域或度量衡工具上(shang)。即(ji)使為(wei)了安裝管(guan)道而(er)在潔凈室的(de)(de)地(di)面上(shang)鉆洞，Waffle混凝(ning)土(tu)板層(ceng)仍能保(bao)持(chi)其風性。因為(wei)地(di)板的(de)(de)強度在于(yu)它的(de)(de)柵格(ge)系統，并(bing)可進行重新整理(li)。因此可在地(di)板上(shang)沖壓額外的(de)(de)孔(kong)洞，而(er)不會對(dui)振動(dong)因素有任何副作用。
所有(you)的(de)(de)(de)(de)暖通(tong)、動(dong)(dong)(dong)力專業設備應使用(yong)(yong)彈簧、軟(ruan)件接和(he)隔離安裝等(deng)隔絕振動(dong)(dong)(dong)的(de)(de)(de)(de)方式(shi)，將振動(dong)(dong)(dong)效應降到最低(di)(di)。低(di)(di)噪音(yin)的(de)(de)(de)(de)節(jie)能(neng)風機和(he)馬達(da)，可(ke)(ke)以用(yong)(yong)來(lai)維持潔凈室NC水平。振動(dong)(dong)(dong)和(he)噪聲方面的(de)(de)(de)(de)專家應是評估小組(zu)的(de)(de)(de)(de)成員(yuan)，他(ta)們(men)來(lai)領袖(xiu)用(yong)(yong)于(yu)振動(dong)(dong)(dong)和(he)噪聲方面的(de)(de)(de)(de)專家應是評估小組(zu)的(de)(de)(de)(de)成員(yuan)，他(ta)們(men)來(lai)核(he)實用(yong)(yong)于(yu)振動(dong)(dong)(dong)和(he)噪聲控制中(zhong)的(de)(de)(de)(de)機械和(he)建筑(zhu)學原理。完工后的(de)(de)(de)(de)再處理可(ke)(ke)能(neng)是十分昂貴的(de)(de)(de)(de)。如(ru)果建筑(zhu)師、暖通(tong)、動(dong)(dong)(dong)力專業工程師、業主和(he)顧問(wen)從(cong)設計的(de)(de)(de)(de)開始就考慮這些因素(su)，可(ke)(ke)以免去許多潛在的(de)(de)(de)(de)昂貴的(de)(de)(de)(de)檢測，或(huo)用(yong)(yong)更(geng)經濟的(de)(de)(de)(de)辦法取代(dai)。
10. 磁(ci)通量(liang)和電磁(ci)通量(liang)。花費因素變量(liang)：0.037至0.15
磁(ci)(ci)通(tong)量(liang)被(bei)認為(wei)是(shi)(shi)銀(yin)河(he)系中海洋(yang)微(wei)粒(li)背景(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)量(liang)。銀(yin)河(he)系的(de)(de)(de)(de)(de)放(fang)置也被(bei)認為(wei)是(shi)(shi)自然界的(de)(de)(de)(de)(de)電磁(ci)(ci)循環(huan)。“通(tong)量(liang)”這(zhe)個詞代表流(liu)量(liang)，我們可以認為(wei)磁(ci)(ci)力(li)(li)線(xian)就象某種液體流(liu)動的(de)(de)(de)(de)(de)路(lu)線(xian)那樣穿(chuan)過(guo)一個假想的(de)(de)(de)(de)(de)表面。磁(ci)(ci)場的(de)(de)(de)(de)(de)大小代表流(liu)動的(de)(de)(de)(de)(de)速度，它的(de)(de)(de)(de)(de)方向就是(shi)(shi)流(liu)動的(de)(de)(de)(de)(de)方向。磁(ci)(ci)通(tong)量(liang)就是(shi)(shi)流(liu)過(guo)這(zhe)個表面的(de)(de)(de)(de)(de)所有(you)的(de)(de)(de)(de)(de)容量(liang)。為(wei)了(le)更好地理解(jie)，我們可以認為(wei)磁(ci)(ci)通(tong)量(liang)就是(shi)(shi)穿(chuan)過(guo)這(zhe)個表面的(de)(de)(de)(de)(de)磁(ci)(ci)力(li)(li)線(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)數量(liang)。
對于給定的(de)速度，當(dang)微粒(li)移動的(de)方向(xiang)垂直于磁(ci)場方向(xiang)時，磁(ci)力(li)是最(zui)大的(de)，當(dang)與磁(ci)場方向(xiang)平等運(yun)動時，磁(ci)場力(li)為零。
在大多數基本(ben)水平，移動(dong)電荷(he)之(zhi)間的相互(hu)作用(yong)產生(sheng)磁力，就象(xiang)靜電產生(sheng)于導電電荷(he)與其他導電電荷(he)(不論他們是(shi)否(fou)運動(dong))之(zhi)間的相互(hu)作用(yong)。
通(tong)過對行(xing)星的(de)拍照研(yan)究表明，由于地球(qiu)的(de)放置(zhi)和它熔化的(de)金屬內核使得(de)它有一個強(qiang)大的(de)磁(ci)場。磁(ci)通(tong)量的(de)密(mi)度(替(ti)代“牛頓的(de)每安培米”)有它自(zi)己的(de)單(dan)位---特斯(si)拉。地球(qiu)表面的(de)磁(ci)場近似代表值是二分之一高斯(si)，大約(yue)是200,000特斯(si)拉。在(zai)對公眾開放的(de)區域內，職業安全和健康要求(qiu)磁(ci)場強(qiang)度不能大于5個高斯(si)。
潔(jie)凈(jing)室的(de)磁(ci)場(chang)防護是十分昂貴的(de)。例(li)如，潔(jie)凈(jing)室使用4到5毫(hao)米(mi)厚的(de)磁(ci)性(鐵(tie)--硅)鋼(gang)板(M15型)作為屏蔽材(cai)料仍不(bu)能滿足要(yao)求(qiu)。當(dang)前的(de)半導體、度(du)量(liang)衡和通(tong)訊實驗室區域內要(yao)求(qiu)磁(ci)通(tong)量(liang)的(de)強(qiang)度(du)限制在0.05高斯或更低。
曾(ceng)經有(you)一(yi)(yi)個非常昂貴(gui)的(de)潔凈(jing)(jing)室(shi)在(zai)(zai)建成后不久就(jiu)關閉了(le)，因為它所在(zai)(zai)的(de)位(wei)置(zhi)有(you)很(hen)高(gao)的(de)磁通量(liang)。另一(yi)(yi)個潔凈(jing)(jing)室(shi)失敗(bai)因為安的(de)生產地板下面埋了(le)幾(ji)英尺的(de)一(yi)(yi)條高(gao)容量(liang)的(de)高(gao)壓電(dian)纜(lan)。再一(yi)(yi)次(ci)強調，如果(guo)在(zai)(zai)項目(mu)的(de)開(kai)始(shi)對這些因素(su)進行評(ping)估，可能會找到解決措施并且(qie)節約時(shi)間(jian)和(he)成本。事實(shi)上(shang)，磁場屏蔽的(de)成本也是應(ying)該考慮的(de)。
11. 空氣和物體表面的靜電(dian)荷。花費(fei)因素變量：0.0327至0.12
“靜電(dian)”是(shi)由于兩個獨立的表面(mian)相互接(jie)觸而產(chan)生的。不(bu)(bu)同表面(mian)產(chan)生的電(dian)荷(he)，如果不(bu)(bu)能以足(zu)夠快的速度傳導(dao)到(dao)地面(mian)，那么(me)它(ta)們會聚(ju)集并散布在材料(liao)的表面(mian)----這就是(shi)“靜電(dian)”。
工(gong)業范圍很多區域內殘余的(de)靜電(dian)荷，會造成危險并引發問題。它能引起易燃(ran)氣(qi)體(ti)的(de)燃(ran)燒和(he)人體(ti)觸電(dian)。它能使薄的(de)薄膜和(he)輕纖維粘連、吸附空氣(qi)中的(de)塵埃和(he)碎片、損害半導體(ti)設備(bei)和(he)干(gan)擾微電(dian)子設備(bei)的(de)運行。
關于易(yi)燃氣(qi)體、水蒸汽和粉塵的危險與兩方(fang)面的因素有關，其一是(shi)(shi)與電(dian)容儲存能量相關，涉及到最(zui)小起爆(bao)能;另(ling)一方(fang)面是(shi)(shi)與最(zui)小間距的破壞電(dian)壓相關，這可以引發著火。
典型的，一(yi)般(ban)碳(tan)氫化合(he)(he)物氣體(ti)或空氣混合(he)(he)物的最小起爆能(neng)是(shi)0.2 毫(hao)焦耳，并產生至少幾千伏的擊穿電壓。對于粉塵，最小起爆能(neng)是(shi)幾毫(hao)焦耳。
靜(jing)(jing)電(dian)荷(he)放(fang)電(dian)引起的(de)(de)(de)震動大約(yue)在1毫焦(jiao)耳(er)時是可以辨別的(de)(de)(de)，當震動在10到(dao)100毫焦(jiao)耳(er)范圍內(nei)時很可能使(shi)人(ren)感覺不舒(shu)服。1焦(jiao)耳(er)以上(shang)的(de)(de)(de)能量將(jiang)(jiang)引起人(ren)體(ti)主要肌肉(rou)的(de)(de)(de)收縮(suo)。當靜(jing)(jing)電(dian)作用力與重力或其他(ta)約(yue)束(shu)力相當時，將(jiang)(jiang)產生機械操作難題(ti)。這與局部電(dian)場的(de)(de)(de)引力有關，因此，絕緣體(ti)與表面電(dian)荷(he)密度有關。
一般情況下，靜電(dian)作用力是微(wei)弱的(de)(de)(de)，但是當電(dian)荷(he)密度小于幾毫焦耳10-7/㎡時，灰塵就將被吸(xi)附在它(ta)的(de)(de)(de)表面。人們進行正常的(de)(de)(de)活動時會產生靜電(dian)，例(li)如在地毯上行走、從椅子上站起、磨(mo)擦衣(yi)服的(de)(de)(de)表面等。在濕度較低的(de)(de)(de)環境和廣泛使用人造纖維的(de)(de)(de)環境，產生靜電(dian)荷(he)更高(gao)。身體(ti)電(dian)壓可高(gao)達到15千伏。
通過(guo)帶電(dian)織(zhi)物(wu)、帶電(dian)體、手持金屬物(wu)體等可進(jin)行靜電(dian)放(fang)(fang)電(dian)。這些(xie)靜電(dian)放(fang)(fang)電(dian)可能(neng)產(chan)生(sheng)高電(dian)壓，能(neng)夠越過(guo)設備外(wai)包裝內的(de)幾(ji)毫米空隙直接(jie)進(jin)入內部電(dian)路。放(fang)(fang)電(dian)可產(chan)生(sheng)幾(ji)安培的(de)電(dian)流，使頻率上升到幾(ji)百兆赫---特(te)別是(shi)金屬導體充當放(fang)(fang)電(dian)源時(shi)。
靜電對于(yu)半導(dao)體設(she)備(bei)的(de)危害(hai)取決于(yu)設(she)備(bei)的(de)類型(xing)和(he)(he)設(she)計方案。互補(bu)金屬氧化物(wu)半導(dao)體(CMOS)設(she)備(bei)和(he)(he)精(jing)細(xi)幾何結構特(te)別容易受影響。盡管損害(hai)很(hen)可能(neng)與放(fang)電能(neng)量和(he)(he)電壓(ya)(ya)(ya)有(you)關，但風險的(de)表示方式(shi)與“人(ren)體模型(xing)”放(fang)電電壓(ya)(ya)(ya)有(you)關。經(jing)驗表明大(da)約在(zai)(zai)50伏(fu)特(te)時(shi)，損害(hai)的(de)靈(ling)敏度降低。微電子(zi)系統混亂所產生的(de)問題通常也被(bei)表示成(cheng)與人(ren)體模型(xing)放(fang)電有(you)關。系統必須能(neng)經(jing)受幾千(qian)伏(fu)特(te)的(de)電壓(ya)(ya)(ya)(不受控制的(de)環境(jing)應在(zai)(zai)15千(qian)伏(fu)特(te)以上(shang))，因為在(zai)(zai)正常工作環境(jing)中，人(ren)們在(zai)(zai)地板上(shang)走動等活動能(neng)很(hen)輕易的(de)產生高電壓(ya)(ya)(ya)。
為(wei)了減(jian)少風險，避免潛(qian)在(zai)的問(wen)題(ti)(ti)，必須確保能夠比產生靜電荷(he)更(geng)快的速度將其驅(qu)散(san)。對醞標準(zhun)的手工操作和人體活動，電荷(he)的衰減(jian)時間必須是0.25秒或者(zhe)更(geng)少。與風險控制有關的新觀念(nian)是，如果靜電荷(he)遇到高電容的某(mou)種材料(liao)，那么表面電壓就(jiu)會降低，于(yu)是潛(qian)在(zai)的問(wen)題(ti)(ti)和損(sun)害(hai)就(jiu)可以防(fang)范(fan)。許(xu)多(duo)公司(si)已經(jing)采取一(yi)些措(cuo)施來(lai)預防(fang)靜電，例如安裝導電地板或導電的袋子來(lai)儲存和傳(chuan)送零部件。
避免(mian)因(yin)靜電放(fang)(fang)電對微電子系統(tong)產生影響的(de)最基本的(de)方(fang)法是，將設備安(an)放(fang)(fang)在(zai)良好的(de)靜電和磁場(chang)屏蔽(bi)場(chang)所(suo)內，恰當減少所(suo)有的(de)輸入(ru)和輸出(chu)連(lian)接。
12. 能源和生產費(fei)用。花費(fei)因素變量：-0.017至0.15
如表2所示，再(zai)循環AHU風機(ji)和冷(leng)卻空氣的DX裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)產(chan)生(sheng)的成(cheng)(cheng)本是(shi)引人關注的，大約(yue)是(shi)全部(bu)HVAC生(sheng)產(chan)成(cheng)(cheng)本的35%。使用最新設計的裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)能(neng)夠(gou)節(jie)約(yue)生(sheng)產(chan)成(cheng)(cheng)本，例(li)如風機(ji)過(guo)濾(lv)VFD驅動、高效率(lv)馬達(da)、帶有(you)冷(leng)卻塔的冷(leng)卻系統、局部(bu)熱水再(zai)熱循環、絕熱加濕。
潔(jie)凈室的(de)嚴格清潔(jie)要求(qiu)與它固有的(de)高生(sheng)產成(cheng)本相關。然而(er)，如果事先(xian)計劃(hua)好，可以大大降低(di)成(cheng)本：
l 精確定義潔(jie)凈室級別，滿足工藝要求。
l 精(jing)確定義(yi)潔凈(jing)室空氣溫(wen)度(du)和(he)濕度(du)，滿足工(gong)藝要(yao)求(qiu)。
l 潔凈室外的(de)排風量應滿足(zu)工(gong)(gong)藝(yi)的(de)最低要求，一開始就進行排風管理程序。在(zai)設(she)(she)計開始，就在(zai)所(suo)有(you)的(de)排氣支(zhi)管和工(gong)(gong)藝(yi)設(she)(she)備上提(ti)供氣流(liu)和壓差的(de)批示(shi)儀器。
l 通過確(que)定設(she)備(bei)風速的(de)最(zui)大值(zhi)(zhi)和最(zui)小(xiao)值(zhi)(zhi)，來降低風管(guan)和管(guan)道的(de)壓降，在施(shi)工整個(ge)過程中(zhong)貫徹這些指導方針。
l 使用微(wei)環(huan)境、手套箱(xiang)、真空室和模塊式圍擋;減少大窨(yin)的需求(qiu)，從而(er)降低(di)生產成本。
l 使(shi)用帶VFD(變(bian)頻)驅動(dong)的高效率馬達(da)。
l 使用補(bu)充(chong)循環和排風系統來減少壓降并節約空間(jian)。
13. 形式和功能。花費因(yin)素變量(liang)：-0.038至0.16
一般而言，20,000到(dao)30,000平方英尺(chi)(chi)的潔凈室(shi)面(mian)積需要(yao)60,000到(dao)90,000平方英尺(chi)(chi)的建筑面(mian)積。為(wei)了在高(gao)度方面(mian)有(you)大(da)約(yue)10英尺(chi)(chi)的間隙(xi)空間，建筑高(gao)度必須(xu)要(yao)在大(da)約(yue)21到(dao)26英尺(chi)(chi)。另外(wai)應在潔凈室(shi)外(wai)層上面(mian)或下(xia)面(mian)另有(you)12到(dao)16英尺(chi)(chi)的空間用于安裝暖通、動力專業設(she)備。
為了有(you)最大限度的(de)靈活性，潔凈室內部不應(ying)有(you)任(ren)何的(de)柱子。屋(wu)頂(ding)結構應(ying)有(you)最小深度，并且能(neng)夠(gou)隨每平方英尺100至200磅的(de)負荷，以便安(an)裝那(nei)些懸掛在上部結構的(de)水管、風(feng)管和空氣處理裝置。
通常(chang)情況下(xia)，間隙(xi)空(kong)間被用(yong)來作(zuo)為回(hui)風(feng)靜壓箱。因此，這些個空(kong)間和建(jian)筑(zhu)物應用(yong)陰燃材(cai)料建(jian)造。間隙(xi)空(kong)間，也就(jiu)是吊頂下(xia)面的(de)空(kong)間，應該有(you)噴淋裝置。
應嚴格執(zhi)行(xing)(xing)現行(xing)(xing)的國家防(fang)火(huo)協會(NFPA)法(fa)規，連同當地(di)安全(quan)法(fa)規一起(qi)執(zhi)行(xing)(xing)。獲得施工許可(ke)證(生(sheng)產許可(ke)證)可(ke)能是長(chang)期的、昂貴的，如果不執(zhi)行(xing)(xing)全(quan)部建筑(zhu)和防(fang)火(huo)安全(quan)法(fa)規將(jiang)是無效的。同樣的，所有豁免(mian)和條(tiao)款解(jie)釋需要有文件證明，并事先通過官方的批準。
潔凈室(shi)的(de)外(wai)面如果有足夠(gou)的(de)窨 用來安裝暖通、動力和(he)(he)(he)工(gong)藝設備(bei)(bei)，例如，冷凍機、熱交換器、泵、DI水設備(bei)(bei)、儲(chu)液槽等，那(nei)么潔凈間可沿著潔凈室(shi)的(de)內墻(qiang)建立。理想的(de)情況是，在設計者(zhe)和(he)(he)(he)業主確定處(chu)理管路溝槽的(de)要(yao)求，和(he)(he)(he)對振動敏感的(de)設備(bei)(bei)的(de)安裝位置以(yi)前，潔凈室(shi)不應該灌注水泥(ni)地板。地下(xia)室(shi)或(huo)次(ci)地下(xia)室(shi)空間對于工(gong)藝和(he)(he)(he)動力管道(dao)(dao)系統、工(gong)具和(he)(he)(he)生產設備(bei)(bei)的(de)電(dian)纜分(fen)布、排風和(he)(he)(he)回風管道(dao)(dao)系統來講是必需的(de)。
通常需要(yao)有非(fei)常大的(de)占有足(zu)夠(gou)空間(jian)電器設(she)備。在這種情況下，必須確(que)認有足(zu)夠(gou)的(de)動力供應。與半導體(ti)和藥品生產相(xiang)關的(de)高用水量(liang)，要(yao)求廢話水處理的(de)容量(liang)和下水管線(xian)足(zu)夠(gou)大，以便對(dui)預其的(de)污水進行(xing)處理。目標永(yong)遠是排放最水的(de)廢水。今天，零排放的(de)設(she)備是十分(fen)普遍的(de)，它(ta)不再(zai)是目前(qian)發展水平的(de)特點。
一個(ge)有經驗的(de)(de)建(jian)筑師對(dui)潔凈室設(she)(she)(she)備輸入能(neng)量的(de)(de)設(she)(she)(she)計不能(neng)被夸大(da)(da)或忽略。這對(dui)于設(she)(she)(she)備的(de)(de)品(pin)質和(he)成本效(xiao)率有巨(ju)大(da)(da)的(de)(de)影(ying)響。應(ying)對(dui)高科(ke)技(ji)設(she)(she)(she)備的(de)(de)功能(neng)進行全(quan)面了解，從而(er)確(que)定(ding)是否采用該(gai)設(she)(she)(she)備。潔凈室外的(de)(de)細節(jie)決(jue)定(ding)了設(she)(she)(she)備的(de)(de)建(jian)筑方案，就(jiu)象速(su)度的(de)(de)要求決(jue)定(ding)了賽車(che)的(de)(de)大(da)(da)小和(he)形(xing)狀。
對設(she)備作用及現在(zai)和(he)將來的(de)需求有充分認識的(de)潔凈室建(jian)筑師，配合(he)合(he)格(ge)的(de)潔凈室暖通、動力專業(ye)設(she)計(ji)工程師、結構和(he)電氣(qi)專家(jia)和(he)業(ye)主(zhu)組成團隊(dui)，是每個成功設(she)計(ji)的(de)必需。
14. 微粒。花費(fei)因素變量：-0.040至0.15
15. 工藝(yi)管道系統。花費因素變量：-0.021至0.20
不(bu)應取(qu)消這些因素(14和(he)15)對(dui)于(yu)成本影響的(de)(de)討論，同(tong)時，因為這些變量對(dui)于(yu)每個工廠都是獨特的(de)(de)，最好不(bu)要對(dui)它(ta)進行綜(zong)合評(ping)論。不(bu)過，它(ta)們會在(zai)內(nei)部表格(ge)內(nei)提及。
只有(you)時間能夠告訴我(wo)們……
潔(jie)凈室設施的(de)(de)(de)設計過(guo)程是動態的(de)(de)(de)，并(bing)具有創造(zao)性的(de)(de)(de)。我所說的(de)(de)(de)內容不(bu)會一成不(bu)變，法凈室可能發展成與我們(men)今(jin)天所了解(jie)的(de)(de)(de)完全不(bu)同的(de)(de)(de)潔(jie)凈室。
微環境、屏蔽技術、手套箱和自動控制已經改變了潔凈室的外觀和運行。但是，與今天的潔凈室在幾十年前還是聞所未聞一樣，明天生產設備的技術將勿庸置疑地向我們展現出非凡的驚喜，并向我們今天的所有發出挑戰。
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