現場測(ce)試(shi)結果及討論整(zheng)理如(ru)下(xia):
1. 測(ce)試結果127點VESDA時間由40秒到(dao)260秒不等，回風層(ceng)大(da)多數測(ce)試點可以120秒標(biao)準要(yao)求下(xia)偵測(ce)到(dao)現場放(fang)煙，超過120秒之測(ce)試位(wei)置如圖2及(ji)圖3上灰階方塊所示，圖上向量箭(jian)頭代表放(fang)煙後偵測(ce)器作動之煙流方向。
2. 放煙(yan)測試(shi)(shi)失(shi)敗地點有(you)在潔凈(jing)室區域成(cheng)品及(ji)半成(cheng)品倉庫(ku)(Stocker)附近(jin)及(ji)排氣系(xi)統管(guan)末盲板(ban)(ban)(End-cap)附近(jin)。由(you)(you)現場放煙(yan)時(shi)可以(yi)清楚發現煙(yan)被(bei)排氣管(guan)末盲板(ban)(ban)及(ji)倉庫(ku)吸入，工程設(she)(she)計(ji)時(shi)應先鑒認類(lei)似上述吸氣位置(zhi)。必須要(yao)提醒，半導(dao)體廠(chang)與4/5 G TFT-LCD廠(chang)在Stocker設(she)(she)計(ji)不同∶半導(dao)體廠(chang)Stocker只(zhi)有(you)潔凈(jing)室高(gao)，因此內部正壓是(shi)把(ba)煙(yan)吹離Stocker;4/5 G TFT-LCD廠(chang)由(you)(you)於(wu)玻(bo)璃面板(ban)(ban)大，Stocker通常設(she)(she)計(ji)為垂直(zhi)連(lian)通一樓(lou)回風(feng)層(ceng)及(ji)二樓(lou)潔凈(jing)室層(ceng)，內部正壓在一樓(lou)回風(feng)層(ceng)仍是(shi)將把(ba)煙(yan)吹離Stocker，但是(shi)二樓(lou)潔凈(jing)室層(ceng)卻(que)是(shi)把(ba)煙(yan)吸入Stocker并經過(guo)濾清除，因此在Stocker附近(jin)測試(shi)(shi)不合格(ge)(超過(guo)120秒)是(shi)必然(ran)的(de)事。
3. 一樓回(hui)風層及(ji)二樓潔凈(jing)室(shi)層內部仍(reng)有一些位(wei)(wei)置測試不合格(超(chao)過(guo)120秒(miao))，但是依(yi)據(ju)實測都(dou)在260秒(miao)內作(zuo)動(dong)，因此初步研判(pan)VESDA作(zuo)動(dong)應與(yu)氣流速度有關。記錄(lu)所(suo)有測試位(wei)(wei)置之距離、作(zuo)動(dong)所(suo)需時(shi)間、潔凈(jing)室(shi)平(ping)均下降(jiang)垂直層流速度，提出(chu)經驗(yan)公式如下，未來期(qi)望有更多的現場測試以驗(yan)證此經驗(yan)式變(bian)成通用公式。
警戒區垂(chui)直冷盤(Dry Coiler)之(zhi)長度[公尺]
=每小時換氣次數/3600×潔凈(jing)室高度[公尺(chi)]×
風(feng)扇過濾模組(zu)覆(fu)蓋(gai)率[%]×120[秒]
=平均潔凈室下降氣(qi)流(liu)速度[公尺/秒] ×120[秒]
於(wu)本研究(jiu)中(zhong)，VESDA驗(yan)收設定120秒(miao)警戒區長度，因(yin)(yin)潔凈(jing)室內(nei)各區每小時(shi)換氣次數不(bu)(bu)(bu)同(tong)(潔凈(jing)度不(bu)(bu)(bu)同(tong))，大(da)約(yue)是(shi)24至35公尺如圖3所示。上述方(fang)程式對300mm晶圓廠(chang)(chang)及第(di)5代TFT-LCD廠(chang)(chang)十(shi)分(fen)重要，因(yin)(yin)為(wei)(wei)在這些新廠(chang)(chang)潔凈(jing)室高度大(da)輻增加，此外(wai)，為(wei)(wei)了節約(yue)能源垂直下降氣流速(su)度降低，因(yin)(yin)此VESDA布點設計(ji)就完全(quan)不(bu)(bu)(bu)同(tong)於(wu)一般8寸晶圓廠(chang)(chang)或第(di)4代TFT-LCD廠(chang)(chang)。
4. 不(bu)可否認仍(reng)有(you)一(yi)些位(wei)置放(fang)(fang)煙後行為奇特，無(wu)法合理解釋(shi)。但(dan)是在其附近再增加測試點其結果(guo)滿足驗收標準，關於此點仍(reng)需進一(yi)步研(yan)究。實驗中也(ye)有(you)發現某(mou)些放(fang)(fang)煙位(wei)置會有(you)二組VESDA作動(dong)，為求監測范(fan)圍建立正確性，都(dou)以最(zui)先(xian)作動(dong)者為基(ji)本資(zi)料。
5. VESDA原廠設(she)計也經由(you)此研究比對及修正，如圖(tu)4所示，不(bu)同(tong)VESDA警戒區域(yu)標示與(yu)其(qi)VESDA相同(tong)編號。在此區域(yu)內，如果有(you)煙產生，根據實驗VESDA應(ying)能很快作動(dong)，緊急應(ying)變人員(ERT)可以(yi)先搜尋(xun)上述由(you)實驗找出的各監測(ce)器有(you)效監測(ce)范圍，而不(bu)必搜尋(xun)全部(bu)空間(jian)。
6. 為(wei)使偵煙(yan)時間縮短許多廠商(shang)幾乎是冷盤前方(fang)及整個夾心(xin)層(ceng)(ceng)(ceng)下(xia)方(fang)都有(you)布(bu)點(dian)(dian)，通常需要100套(tao)以(yi)上VESDA，成本(ben)約(yue)2500~3000萬(wan)臺(tai)幣。二次布(bu)點(dian)(dian)通常要布(bu)在夾心(xin)層(ceng)(ceng)(ceng)下(xia)方(fang)，藉由現場全尺度(du)測試，可以(yi)清楚知道只有(you)潔凈室中間區域(yu)(標示(shi)2nd design)是需要二次布(bu)點(dian)(dian)設計(ji)(如(ru)圖4所(suo)示(shi))，而不是整個夾心(xin)層(ceng)(ceng)(ceng)(Waffle Slab)下(xia)方(fang)都需要布(bu)點(dian)(dian)，如(ru)此一來可節省至(zhi)少1000萬(wan)臺(tai)幣。其設計(ji)密度(du)依據原廠建議仍訂為(wei)每(mei)套(tao)300平方(fang)公尺。
7. 藉由現場測(ce)試，編(bian)號(hao)52-53及56-58之(zhi)VESDA警戒區特別小(xiao)，VESDA受環境影響功能不佳之(zhi)結果或程度，目(mu)前尚不清楚，下降(jiang)氣(qi)流速(su)度應該是重要因素(su)之(zhi)一，由本個案研究可暫時(shi)推(tui)論∶放煙位置下降(jiang)氣(qi)流速(su)度小(xiao)於0.05m/s時(shi)不合格可能性極高。
8. 利用過(guo)載電流通過(guo)直徑小(xiao)的(de)電線(xian)，最好使用BS6266規定之PE線(xian)。如果使用PVC披覆(fu)線(xian)材產生(sheng)的(de)戴奧辛對人(ren)體有害(hai)，且是否會產生(sheng)微小(xiao)煙粒殘留及(ji)其對潔凈室所可(ke)能造成的(de)影(ying)響，目前無相關(guan)研究(jiu)報告(gao)。
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