PVD和CVD無機薄膜沉積方式大全
摘(zhai)要(yao):無機薄膜(mo)沉積方(fang)式 在(zai)FDP 的生產中, 在(zai)制作(zuo)無機薄膜(mo)時可(ke)以采用的方(fang)法有兩種:PVD 和CVD (本(ben)文跟從眾多資(zi)料的分類法, 將VE 和VS 歸于(yu)(yu)PVD 而ALD 歸于(yu)(yu)CVD)。 Physical Vapor Deposition (PVD) Physical Vapor Deposition (PVD) 亦稱(cheng)為物(wu)理氣象沉淀技(ji)術(shu)。該技(ji)術(shu)在(zai)
閱讀:37432017年(nian)07月31日 16:23:48