你知道OLED成膜現場長什(shen)么(me)嗎?
不知道?
那好,接著看就(jiu)知道了
知道?
來(lai)來(lai),看看這(zhe)個跟你(ni)見的(de)一樣嗎?
OLED成膜工藝現場原來長這樣...
小分子材料量產系(xi)統
上圖(tu)是小分子材料EL器(qi)件生(sheng)產體系的(de)一個實(shi)際示意圖(tu),這(zhe)(zhe)個體系幾乎全部(bu)是自動操作,不接觸大氣(qi),一直到最終產品為止的(de)成(cheng)品都是在這(zhe)(zhe)里(li)面實(shi)現(xian)的(de)...
具體流程如下
1、搬運的機械臂(bei)將(jiang)玻璃基(ji)板從置樣室(shi)中取出(chu)
2、玻璃基板的預處理(li),等離子清洗等
3、清(qing)洗結束后的玻璃基板在真空式(shi)沉積注入層、傳輸(shu)層和發(fa)光層
4、最后蒸鍍金屬電(dian)極
使(shi)用這(zhe)樣的(de)工(gong)藝(yi)(yi)以后(hou)(hou),再將有機EL器件的(de)基板通過送樣室(shi)傳(chuan)到下面的(de)工(gong)藝(yi)(yi),也(ye)就是(shi)“封(feng)裝工(gong)藝(yi)(yi),然后(hou)(hou)整個(ge)制(zhi)造過程完成。
需(xu)要(yao)注意的(de)是,這個例(li)子是小量生(sheng)產線的(de)情況,若是企業(ye)量產線,圖(tu)中的(de)蒸(zheng)鍍室會有7到8個,而(er)且還有預(yu)備(bei)室。
小分子EL器件采取的是多層結構,所以(yi)可將(jiang)多臺真空蒸鍍機(ji)(ji)并置在一(yi)個蒸鍍機(ji)(ji)中,連續不(bu)斷(duan)的蒸鍍同一(yi)種材料。
ITO基板在這些蒸(zheng)(zheng)鍍機中一(yi)個(ge)接(jie)(jie)一(yi)個(ge)的傳送,將有機材料一(yi)層接(jie)(jie)一(yi)層的蒸(zheng)(zheng)鍍上去。
高分子材料量產系統
上圖是(shi)高恩自EL的生(sheng)產體系,首(shou)先,涂上一層(ceng)空(kong)穴注入(ru)層(ceng),然(ran)后再連(lian)續(xu)刷上發光層(ceng)染料,所(suo)有層(ceng)的沉積都采用噴墨打印的工藝。
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